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Method of vaporizing reactants in a packed-bed, column, film evaporator 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C03B-037/018
출원번호 US-0577985 (1995-12-22)
발명자 / 주소
  • Cain Michael B.
출원인 / 주소
  • Corning Incorporated
대리인 / 주소
    Murphy
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 0

초록

A vaporizer (film evaporator) (13) for halide-free, silicon-containing liquid reactants used in producing preforms is provided. The vaporizer includes a plurality of packed-bed columns (22) surrounding a central tube (24). A mixture of liquid reactant, e.g., octamethylcyclotetrasiloxane, and gas, e.

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A method of providing reactant vapors to make a silicon dioxide containing preform by decomposing said reactant vapors to form particles, comprising:(a) providing a reactant in liquid form, at a first predetermined flow rate, said reactant being polymerizable to form a sp

이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Zaman, Dewan Shamsuz, Column structure for an absorption column.
  2. Liu, Benjamin Y. H., High stability and high capacity precursor vapor generation for thin film deposition.
  3. Fujiwara Seishi,JPX ; Komine Norio,JPX ; Jinbo Hiroki,JPX ; Suwa Toshitsugu,JPX, Manufacturing method of synthetic silica glass.
  4. Seishi Fujiwara JP; Norio Komine JP; Hiroki Jinbo JP, Manufacturing method of synthetic silica glass.
  5. Badeke, Klaus-Uwe; Otto, Norbert; Trommer, Martin; Laudahn, Hilmar; Brueckel, Andreas, Method for producing synthetic quartz glass.
  6. Galante, Marco; Arimondi, Marco; Roba, Giacomo Stefano; Santi, Ilenia, Method for vaporizing a liquid reactant in manufacturing a glass preform.
  7. Mark A. McDermott, Method of making planar waveguides using low flow rates of feedstock vapors from a gas and liquid mixture.
  8. Partus Fred Paul, Methods of and systems for vapor delivery control in optical preform manufacture.
  9. Brutti, Thierry; Pierret, Benoit; Guillon, Herve, Process and apparatus for liquid delivery into a chemical vapor deposition chamber.
  10. Giacomo Stefano Roba IT; Marco Arimondi IT, Process for producing silica by decomposition of an organosilane.
  11. Zaman, Dewan Shamsuz, Structure of an absorption column.
  12. Kanishak Richard A. ; Martin Kirk A., Vapor generation system and process.
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