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Turbomolecular vacuum pumps with low susceptiblity to particulate buildup

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F01D-001/36
  • F03B-005/00
출원번호 US-0770632 (1996-12-19)
발명자 / 주소
  • Hablanian Marsbed
출원인 / 주소
  • Varian Associates, Inc.
대리인 / 주소
    Fishman
인용정보 피인용 횟수 : 37  인용 특허 : 2

초록

A molecular drag compressor includes a rotor disk and a stator that defines a tangential flow channel having an inlet and an outlet. A stationary baffle is disposed in the tangential flow channel adjacent to the outlet. The baffle is spaced from the rotor disk by a gap. A surface of the baffle facin

대표청구항

[ What is claimed is:] [12.] An integral high vacuum pump comprising:an outer pump housing having an axis;an axial turbomolecular compressor disposed in said housing;a molecular drag compressor disposed in said housing, said turbomolecular compressor and said molecular drag compressor each having a

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Hablanian Marsbed (Wellesley MA), High performance turbomolecular vacuum pumps.
  2. Casaro Fausto (Turin ITX) Dolcino Luigi (Turin MA ITX) Hablanian Mars (Wellesley MA) Levi Giampaolo (Turin ITX), Turbomolecular pump.

이 특허를 인용한 특허 (37)

  1. Maier, William C., Access cover for pressurized connector spool.
  2. Hablanian,Marsbed, Baffle configurations for molecular drag vacuum pumps.
  3. Tecza, Joseph A.; Kidd, H. Allan, Circulating dielectric oil cooling system for canned bearings and canned electronics.
  4. Lardy, Pascal; Kidd, H. Allan; Maier, William C., Combination of expansion and cooling to enhance separation.
  5. Marc Oliver ; Stephen C. Jacobsen ; David F. Knutti, Compact molecular drag vacuum pump.
  6. Olivier, Marc; Jacobsen, Stephen C.; Knutti, David, Compact molecular-drag vacuum pump.
  7. Olivier,Marc; Jacobsen,Stephen C.; Knutti,David, Compact molecular-drag vacuum pump.
  8. Kidd, H. Allan; Maier, William C.; Chochua, Gocha, Compressor assembly including separator and ejector pump.
  9. Maier, William C., Compressor mounting system.
  10. Majot, Kevin M.; Rohrs, Charles A., Coupling guard system.
  11. Maier, William C.; Chochua, Gocha, Density-based compact separator.
  12. Delmotte, Scott J.; Vine, Jon T.; O'Leary, Thomas D., Drainage system for compressor separators.
  13. Maier, William C., Dual body drum for rotary separators.
  14. Kumar, Jay; Kidd, H. Allan; Maier, William, Enhanced in-line rotary separator.
  15. Moriya, Tsuyoshi; Murakami, Takahiro; Kobayashi, Yoshiyuki; Sato, Tetsuji, Exhaust system and exhausting pump connected to a processing chamber of a substrate processing apparatus.
  16. Maier, William C., Fluid channeling device for back-to-back compressors.
  17. Maier, William C.; Chochua, Gocha T., Fluid deflector for fluid separator devices.
  18. Maier, William C., Flush-enabled controlled flow drain.
  19. Maier, William C., High pressure casing access cover.
  20. Griffin, Timothy R.; Gilarranz, Jose L., Method for on-line detection of liquid and potential for the occurrence of resistance to ground faults in active magnetic bearing systems.
  21. Gilarranz, Jose L.; Griffin, Timothy R., Method for on-line detection of resistance-to-ground faults in active magnetic bearing systems.
  22. Kidd, H. Allan; Maier, William C., Multiple modular in-line rotary separator bundle.
  23. Conrad Wayne Ernest,CAX ; Conrad Helmut Gerhard,CAX ; Szylowiec Ted,CAX ; Petersen Dave,CAX, Prandtl layer turbine.
  24. Lardy, Pascal; Kidd, H. Allan; Maier, William C., Radial vane pack for rotary separators.
  25. Moriya, Tsuyoshi; Murakami, Takahiro; Kobayashi, Yoshiyuki; Sato, Tetsuji; Sugawara, Eiichi; Endoh, Shosuke; Fujimori, Masaki, Reflecting device, communicating pipe, exhausting pump, exhaust system, method for cleaning the system, storage medium storing program for implementing the method, substrate processing apparatus, and particle capturing component.
  26. Maier, William C., Rotary separator drum seal.
  27. Davidson Colin,GBX ; Walkingshaw James,GBX, Rotating machine.
  28. Maier, Martin D.; Kidd, H. Allan, Segmented coast-down bearing for magnetic bearing systems.
  29. Maier, William C., Separator drum and compressor impeller assembly.
  30. Maier, William C.; Chochua, Gocha, Separator fluid collector and method.
  31. Maier, William C.; Miller, Harry F., Shear ring casing coupler device.
  32. Maier, William C.; Griffin, Daniel J., Slidable cover for casing access port.
  33. Okudera, Satoshi; Sakaguchi, Yoshiyuki, Splinter shield for vacuum pump, and vacuum pump with the splinter shield.
  34. Maier, William C., Static fluid separator device.
  35. Armin Conrad DE; Wolfgang Eberl DE, Vacuum pump.
  36. Schofield, Nigel Paul, Vacuum pump.
  37. Maier, Martin D.; Kidd, H. Allan, Whirl inhibiting coast-down bearing for magnetic bearing systems.
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