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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0551134 (1995-10-31) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 3 |
A combination of optical and mechanical compensation is used to provide the necessary magnification control, including anamorphic magnification variation in which the fine adjustment is of different magnitudes in x and y dimensions. The optical control is provided by a projection lens with anamorphi
[ We claim:] [1.] A large-area, high-throughput, high-resolution, scan-and-repeat, projection imaging system for replicating a pattern on a mask onto a corresponding pattern area segment of a substrate having a set of one or more segments, said system including a projection lens of a known character
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