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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0485968 (1995-06-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 43 인용 특허 : 22 |
A highly reliable digital level sensor assembly is provided to replace optical and capacitance type sensors in high purity chemical delivery systems. The digital level sensor assembly is particularly useful in bulk chemical refill delivery systems for high purity chemicals employing a manifold that
[ We claim:] [11.] A level control system comprising a refillable ampule;a bulk container for containing a high purity source chemical;a refill line interposed between and communicating with said ampule and said bulk container for transferring the high purity source chemical from said bulk container
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