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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0739729 (1996-11-07) |
우선권정보 | KR-0040266 (1995-11-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 6 |
A leakage gas detector for a semiconductor device includes a plurality of inflow apertures into which leakage gas flows. A detector sequentially detects the leakage gas in each of the inflow apertures via a plurality of valves, so as to leak test each of the plurality of inflow apertures for presenc
[ What is claimed is:] [1.] A leakage gas detector for a semiconductor device comprising:a plurality of inflow apertures into which a leakage gas may flow;a detector for detecting the leakage gas, if any, transferred thereto via each inflow aperture;a pump disposed downstream of said inflow aperture
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