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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0391609 (1995-02-21) |
우선권정보 | JP-0047734 (1994-02-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 25 인용 특허 : 13 |
A clean transfer method and an apparatus therefor capable of facilitating storage and transfer of transferred objects by a vacuum clean box and realizing transfer of the objects to various processing units other than a vacuum unit. A vacuum clean box and a clean unit are airtightly connected to each
[ What is claimed is:] [1.] A clean transfer apparatus comprising:a vacuum clean box including a box body provided with a first opening and a first shutter acting also as a lid which airtightly closes said first opening;said vacuum clean box being constructed so as to provide airtightness sufficient
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