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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0516244 (1995-08-17) |
우선권정보 | DE-4331589 (1993-09-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 0 |
A vacuum pump system for multi-stage gas inlet systems and including a pumping unit formed of a turbomolecular pump and one or several further pumps arranged downstream of the turbomolecular pump and the rotors of which are located on the same shaft as the rotor of the turbomolecular pump, and an ad
[ What is claimed is:] [1.] A vacuum pump system for a multi-stage gas inlet system having a plurality of vacuum chambers said vacuum pump system comprising:a multi-stage turbomolecular pump with each separate stage having stator means, rotor means supported on a common shaft, an inlet side, and an
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