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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0447904 (1995-05-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 0 |
Semiconductor wafer clamp device includes at least one clamp apparatus, the clamp apparatus including a removable clamp finger coupled to a connecting block by a connector. The device allows access to clamp apparatus from a top surface of a substrate holder, eliminating the need to remove the substr
[ What is claimed is:] [1.] A semiconductor wafer clamp apparatus, comprising:a removable clamp finger adapted to clamp a semiconductor wafer during use; a connecting block comprising a clamp finger opening, a clamp shaft opening, a finger connector opening, and a shaft connector opening, the clamp
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