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Molded body of quartz glass and process for the production of a molded body of quartz glass 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C03B-019/06
  • C03B-020/00
  • B01J-003/00
  • H01L-021/02
출원번호 US-0640759 (1996-05-07)
우선권정보 DE-4338807 (1993-11-12)
국제출원번호 PCT/EP94/037 (1994-11-10)
§371/§102 date 19960507 (19960507)
국제공개번호 WO-9513248 (1995-05-18)
발명자 / 주소
  • Englisch Wolfgang,DEX
  • Moritz Stephan,DEX
  • Hellmann Dietmar,DEX
출원인 / 주소
  • Heraeus Quarzglas GmbH, DEX
대리인 / 주소
    Felfe & Lynch
인용정보 피인용 횟수 : 16  인용 특허 : 3

초록

Molded bodies of quartz glass have at least one surface area of transparent quartz glass, the exposed surfaces of which are smooth and which have a surface microroughness of less than 8 .mu.m. The base material has a chemical purity of at least 99.9% and a cristobalite content of no more than 1%; is

대표청구항

[ We claim:] [1.] Molded body of quartz glass which has at least one surface region of transparent quartz glass, having an exposed surface with a surface microroughness of less than 8 .mu.m, said body comprising a base consisting of a base material which has a chemical purity of at least 99.9% and a

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Loxley Ted A. (3985 Ben Hur Ave. Willoughby OH 44094) Blackmer John F. (3985 Ben Hur Ave. Willoughby OH 44094), Cristobalite reinforcement of quartz glass.
  2. Uchikawa Akira (Takefu JPX) Iwasaki Atsushi (Takefu JPX) Fukuoka Toshio (Sabae JPX) Matsumura Mitsuo (Takefu JPX) Matsui Hiroshi (Takefu JPX) Sato Yasuhiko (Annaka JPX) Aoyama Masaaki (Kouriyama JPX), Manufacture of a quartz glass vessel for the growth of single crystal semiconductor.
  3. Yaba Susumu (Yokohama JPX) Kikugawa Shinya (Yokohama JPX) Ohta Yukinori (Yokohama JPX), Quartz glass substrate for polysilicon thin film transistor liquid crystal display.

이 특허를 인용한 특허 (16)

  1. Kelly, Allen L.; Solecki, Christopher K.; Chapla, Kevin M.; Strauss, William C., Apparatus for producing a vitreous inner layer on a fused silica body, and method of operating same.
  2. Maul, Armin; Herbert, Thorsten; Weber, Jürgen; Linow, Sven; Fuchs, Stefan, Component with a reflector layer and method for producing the same.
  3. Scheich, Gerrit; Schenk, Christian; Wessely, Frank; Tscholitsch, Nadine; Atanos, Ashur J.; Neumann, Christian; Moritz, Stephan; Michel, Dirk, Composite material, heat-absorbing component, and method for producing the composite material.
  4. Bowden, Bradley F.; Hrdina, Kenneth E., Fabrication of inclusion free homogeneous glasses.
  5. Rockosi, Derrick J.; Gentilman, Richard; Solecki, Christopher K.; Kelly, Allen L.; Strauss, William C.; Gahan, Brian, Fused silica body with vitreous silica inner layer and method for making the same.
  6. Rockosi, Derrick J.; Gentilman, Richard; Solecki, Christopher K.; Kelly, Allen L.; Strauss, William C.; Gahan, Brian, Fused silica body with vitreous silica inner layer, and method for making same.
  7. Pandelisev, Kiril A., Hot substrate deposition of fused silica.
  8. Donelon, Matthew J.; Pitzen, Arno, Method for forming opaque quartz glass components.
  9. Kuroiwa, Yutaka; Ito, Setsuro; Iga, Motoichi, Method for reducing diameter of bubble existing in a glass plate.
  10. Werdecker, Waltraud; Leist, Johann, Method for the production of a composite body from a basic body of opaque quartz glass and a tight sealing layer.
  11. Sudo, Toshiaki; Yoshioka, Takuma; Suzuki, Koichi; Yamazaki, Shinsuke, Method of manufacturing granulated silica powder, method of manufacturing vitreous silica crucible.
  12. Sudo, Toshiaki; Yoshioka, Takuma; Suzuki, Koichi; Yamazaki, Shinsuke, Method of manufacturing vitreous silica crucible, vitreous silica crucible.
  13. Nagata Hiroya,JPX ; Tsukuma Koji,JPX ; Kudo Masayuki,JPX, Opaque quartz glass and process for production thereof.
  14. Hiroya Nagata JP; Masayuki Kudo JP; Koji Tsukuma JP; Yoshikazu Kikuchi JP; Tomoyuki Akiyama JP, Opaque silica glass article having transparent portion and process for producing same.
  15. Nagata Hiroya,JPX ; Kudo Masayuki,JPX ; Tsukuma Koji,JPX, Opaque silica glass article having transparent portion and process for producing same.
  16. Inaki, Kyoichi; Hayashi, Naoki; Segawa, Tohru, Plasma resistant quartz glass jig.
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