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Case for housing a substrate 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/46
출원번호 US-0605835 (1996-02-22)
우선권정보 JP-0200808 (1993-08-12)
발명자 / 주소
  • Nakahara Kanefumi,JPX
  • Orikasa Tsuneaki,JPX
출원인 / 주소
  • Nikon Corporation, JPX
인용정보 피인용 횟수 : 19  인용 특허 : 17

초록

A case for housing a substrate which limits the accumulation of dust, due to static electricity, while allowing visual access to the substrate. A box-like case portion has an open front end and a front lid pivotally provided on the case portion to close the front end and in which a predetermined sub

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A case for housing a substrate comprising:a housing portion provided with an open front end for receiving a substrate;a front lid pivotally connected to said case portion, said front lid adapted for closing over the open front end; andpredetermined portions of said housin

이 특허에 인용된 특허 (17)

  1. Bradford Judson A. (Holland MI), Anti-static coated paperboard or similar rigid material.
  2. Havens Marvin R. (Greer SC), Antistatic thermoplastic/polyamide-polyether compositions and antistatic polymeric films made therefrom.
  3. Havens Marvin R. (Greer SC) Wilkie Robert R. (Roanoke Rapids NC), Antistatic/conductive container.
  4. Kirkpatrick, John, Apparatus and method for securely carrying a substrate.
  5. Nakazato Hiroshi (Yokohama JPX) Nakamura Gen (Yokohama JPX) Yoshinari Satoshi (Yokohama JPX), Container for a plate-like article.
  6. Abe Nobutoshi (Kawasaki JPX) Kakizaki Yukio (Yokohama JPX) Kobayashi Jiro (Yamato JPX), Container for holding substrate.
  7. Bolt William S. (30W311 Army Trail Rd. Bartlett IL 60103), Container for integrated circuit board.
  8. Nakazato Hiroshi (Ohme JPX) Iijima Mamoru (Yokohama JPX), Dust-proof container having improved construction for holding a reticle therein.
  9. Jamison David S. (Roanoke Rapids NC), Electrically conductive container.
  10. Miyakawa Takeshi (Machida JPX) Shimizu Mikio (Machida JPX) Inoue Masami (Machida JPX) Hirooka Tadaaki (Machida JPX), Heat resistant electrically conductive plastic sheet and container.
  11. Gyory J. Richard (San Jose CA) Peery John R. (Stanford CA), Iontophoretic delivery device and method of hydrating same.
  12. White Dwain M. (Schenectady NY) Socha Laura A. (Troy NY), Low odor polyphenylene ether produced in the absence of odor causing amine, in presence of manganese chelate complex cat.
  13. Tabuchi Akira (Naruto JPX) Nakamura Morihiko (Naruto JPX), Molded articles for holding wafers.
  14. Nakazato Hiroshi (Ohme JPX) Iijima Mamoru (Yokohama JPX), Reticle cassette.
  15. Burton Don E. (Melville NY) Vazquez Richard (Melville NY), Snap-on lid for computer chip tray.
  16. Skrivseth Maynard E. (St. Paul MN), Static shielding film.
  17. Yamauchi Takashi (Tokyo JPX), Substrate holding case.

이 특허를 인용한 특허 (19)

  1. Li Meng Chun,TWX, Electrostatic discharge-free container for insulating articles.
  2. Chiu,Ming Chien, Holder of photomask.
  3. Elliott, Martin R.; Shah, Vinay, Methods and apparatus for mapping carrier contents.
  4. Elliott,Martin R.; Rice,Michael Robert; Lowrance,Robert B.; Hudgens,Jeffrey C.; Englhardt,Eric Andrew; Stuart,Loy Randall, Methods and apparatus for using substrate carrier movement to actuate substrate carrier door opening/closing.
  5. Lewis Lynn Armentrout, Photolithography system including a SMIF pod and reticle library cassette designed for ESD protection.
  6. Matthew E. Williams, Reticle cleaning without damaging pellicle.
  7. Matthew E. Williams, Reticle cleaning without damaging pellicle.
  8. Matthew E. Williams, Reticle cleaning without damaging pellicle.
  9. Williams Matthew E., Reticle cleaning without damaging pellicle.
  10. Williams Matthew E., Reticle cleaning without damaging pellicle.
  11. Williams Matthew E., Reticle cleaning without damaging pellicle.
  12. Williams Matthew E., Reticle cleaning without damaging pellicle.
  13. Williams, Matthew E., Reticle cleaning without damaging pellicle.
  14. Williams, Matthew E., Reticle cleaning without damaging pellicle.
  15. Kolbow, Steven P.; McMullen, Kevin; Tieben, Anthony M.; Kusz, Matthew; Halbmaier, David L.; Lystad, John, Reticle pod.
  16. Su, Wei-Yu; Tern, Li-Kong; Cheng, Dong-Hsu, Reticle pod and reticle with cut areas.
  17. Shinjo, Yoshiaki; Shimobeppu, Yuzo; Teshirogi, Kazuo; Yoshimoto, Kazuhiro, Semiconductor wafer storage case and semiconductor wafer storing method.
  18. Wu Tzong-Ming,TWX ; Huang Gwo-Jou,TWX, Wafer cassette retainer in a wafer container.
  19. Hatada Hirotaka,JPX, Wafer storage box and method for preventing attachment of dust caused by static electricity on a wafer storage box.
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