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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0569760 (1995-12-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 103 인용 특허 : 2 |
An end effector for a transfer robot used in connection with the manufacture of semiconductor wafers is provided. The end effector is designed to handle very thin (0.005"-0.010") semiconductor wafers which tend to bow during processing. The robot blade or end effector includes a deep pocket for rece
[ I claim:] [1.] An end effector for an article transfer device comprising:a rear support mechanism for attaching the end effector to the article transfer device;a pocket extending forward from a front edge of the rear support mechanism for receiving an article therein;wafer capture shoes projecting
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