[특허]Wafer cassette cleaning using carbon dioxide jet spray

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B24C-003/00
출원번호	US-0816745 (1996-10-04)
발명자 / 주소	Bowers Charles W.
출원인 / 주소	Eco-Snow Systems, Inc.
대리인 / 주소	Armstrong
인용정보	피인용 횟수 : 29 인용 특허 : 0

초록 ▼

Apparatus for cleaning a wafer carrying cassette. The cassette is fabricated as open top box having closed sides and a plurality of grooves formed in its interior that each hold a wafer. The apparatus includes an enclosure having an entry and an exit, and a conveyor is provided for transporting the cassette through the enclosure. A first plurality of jet spray nozzles are disposed adjacent to the entry that produce a carbon dioxide jet spray that cleans exterior surfaces of the cassette as it travels through the entry. A blower produces a flow of air through the enclosure and a filter filters the air flowing through the enclosure. A second plurality of moveable jet spray nozzles is controlled to move into the interior of the cassette to generate a carbon dioxide spray that cleans the interior of the cassette. An electrostatic control system is provided that controls buildup of electrostatic charge on the cassette caused by the carbon dioxide spray. Heaters control the temperature of the cassette at or above room temperature to prevent condensation.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] Wafer cassette cleaning apparatus for cleaning a wafer carrying cassette fabricated as open top box having closed sides and a plurality of grooves formed in its interior that each hold a wafer, said apparatus comprising:an enclosure having an entry and an exit;means for transporting the cassette through the enclosure;a first plurality of jet spray nozzles disposed adjacent to the entry for producing a spray of carbon dioxide snow that cleans exterior surfaces of the cassette as it travels through the entry;a blower for producing a flow of air through the enclosure;a filter for filtering the air flowing through the enclosure;a second plurality of moveable jet spray nozzles that is moveable into the interior of the cassette that generates a spray of carbon dioxide snow that cleans the interior of the cassette;an electrostatic control system for controlling buildup of electrostatic charge on the cassette caused by the carbon dioxide snow; andheater means for controlling the temperature of the cassette at or above room temperature to prevent condensation thereon.

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