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Coaxial drive elevator 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B66B-009/02
출원번호 US-0722353 (1996-09-27)
발명자 / 주소
  • Hofmeister Christopher A.
출원인 / 주소
  • Brooks Automation, Inc.
대리인 / 주소
    Perman & Green, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 29

초록

The present invention resides in an elevator mechanism comprising a base plate defining the bottom wall of a chamber disposed above the base plate. The base plate has a top surface and a bottom surface with an opening therein communicating between the top and bottom surfaces. A first drive is dispos

대표청구항

[ What is claimed is:] [15.] A rotary linear drive comprising:a base;a linear positioning device extending in a given direction and having a first and second ends secured within said base;a first rotary drive, said rotary drive being secured to said base and drivingly coupled to said linear position

이 특허에 인용된 특허 (29)

  1. Hachisu Kiyoji (Maebashi JPX), Apparatus for upward and downward movement of an arm in a robot system for taking out injection molded and die casting p.
  2. Takahashi Nobuyuki (Tokyo JPX) Sugimoto Ryuji (Tokyo JPX) Shirai Yasuyuki (Tokyo JPX), Automatic loader.
  3. Katahira Masayuki (Maebashi JPX), Ball screw apparatus.
  4. St. Cyr Paul L. (Middleton MA) Bandura Vitaly (Danvers MA), Drive mechanism for electrical component placement head.
  5. Yokose Kazutoshi (Tokyo JPX) Makishima Yutaka (Tokyo JPX) Higake Masatoshi (Tokyo JPX) Shioda Toshimi (Tokyo JPX) Nagai Masahide (Tokyo JPX) Noda Minoru (Tokyo JPX), Driving apparatus for industrial robot.
  6. Hughes John L. (Rodeo CA) Shula Thomas E. (Palo Alto CA) Rodriguez Carlos E. (Redwood City CA), Dual track handling and processing system.
  7. Bennett George R. (Findon GBX) Faithfull Terence F. H. (Cranleigh GBX), Electrically powered actuator.
  8. Brusasco Enzo (Turin ITX), Electromechanical linear actuator.
  9. Koyano Shinji (Tokyo JPX), In-vacuum conveyance robot.
  10. Inaba Hajimu (Hino JPX) Nakajima Seiichiro (Hino JPX) Inagaki Shigemi (Musashino JPX) Ito Susumu (Hino JPX), Industrial robot.
  11. Torii Nobutoshi (Hachioji JPX) Nihei Ryo (Musashino JPX), Industrial robot shaft supporting mechanism.
  12. Torii Nobutoshi (Hachioji JPX) Nihei Ryo (Yamanashi JPX) Yasumura Mitsuhiro (Yamanashi JPX), Industrial robot with a compound drive mechanism.
  13. Torii Nobutoshi (Tokyo JPX) Ito Susumu (Yamanashi JPX) Hamura Masayuki (Yamanashi JPX) Tanaka Akira (Yamanashi JPX), Industrial robot with a telescopic horizontal arm.
  14. Torii Nobutoshi (Hachioji JPX) Nihei Ryo (Musashino JPX), Industrial robot with replaceable module.
  15. Reuter Wolfgang (Niddatal DEX) Gediga Josef (Bruchkoebel DEX), Lifting and turning unit for a melting and/or casting plant.
  16. Fickler Hans (Wiesendangen CHX), Linear drive device with two motors.
  17. West William E. (Hartford CT), Mast translation and rotation drive system utilizing a ball drive screw and nut assembly.
  18. Tepman Avi (Cupertino CA), Method and apparatus for adjustment of spacing between wafer and PVD target during semiconductor processing.
  19. Abraham William F. (Lancaster NY), Position controlled linear actuator.
  20. Abraham William F. (Lancaster NY), Position controlled linear actuator.
  21. Dobbs Michael E. (Brighton MI) Jones Donald B. (Ann Arbor MI), Robotic substrate manipulator.
  22. McDiarmid James (San Jose CA), Rotary/linear actuator for closed chamber, and reaction chamber utilizing same.
  23. Thuries Edmond (Meyzieu FRX) Masson Jean-Paul (Villeurbanne FRX) Goutte Roger (Lyons FRX), Screw-and nut type member for transmitting rotary motion.
  24. Harada Hiroshi (Tokyo JPX) Iwasawa Yoshiyuki (Tokyo JPX) Ishida Tsutomu (Tokyo JPX) Kobayashi Shintaro (Tokyo JPX), Semiconductor processing system.
  25. Maydan Dan (Los Altos CA) Somekh Sasson R. (Redwood City CA) Ryan-Harris Charles (La Honda CA) Seilheimer Richard A. (Pleasanton CA) Cheng David (San Jose CA) Abolnikov Edward M. (San Francisco CA) R, Semiconductor processing system with robotic autoloader and load lock.
  26. Maydan Dan (Los Altos Hills CA) Somekh Sasson R. (Redwood City CA) Ryan-Harris Charles (La Honda CA) Seilheimer Richard A. (Pleasanton CA) Cheng David (San Jose CA) Abolnikov Edward M. (San Francisco, Semiconductor processing system with robotic autoloader and load lock.
  27. Saeki Hiroaki (Yamanashi JPX), Vacuum processing apparatus.
  28. Davis Cecil J. (Greenville TX) Matthews Robert (Plano TX) Hildenbrand Randall C. (Richardson TX), Vacuum processing system.
  29. Layman Frederick P. (Fremont CA) Hobson Phillip M. (Los Altos CA) Dick Paul H. (San Jose CA), Valve incorporating wafer handling arm.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Stevens, Ronald R., Bellows isolation for index platforms.
  2. Focke Heinz,DEX ; Livotov Pavel,DEX, Lifting device (pallet device) with pivotal arm.
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