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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0615386 (1996-03-14) |
우선권정보 | DE-0042646 (1995-11-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 105 인용 특허 : 9 |
In a loading and unloading station for semiconductor processing installations, the object of the present invention is to ensure charging proceeding from transporting containers under clean room conditions. These transporting containers themselves serve as magazines for disk-shaped objects and are op
[ What is claimed is:] [1.] A loading and unloading station for semiconductor processing installations having a charging opening through which disk-shaped objects can be loaded, unloaded and reloaded comprising:a removable closure for said charging opening;a transporting container for accommodating
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