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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0650198 (1996-05-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 23 인용 특허 : 26 |
A heating and lifting mechanism for positioning a semiconductor wafer within a processing chamber is provided including a pedestal for supporting the wafer within the process chamber, a drive shaft extending downwardly from a lower region of the pedestal, which has a lead screw at a distal portion t
[ I claim:] [1.] An apparatus for vertically moving and positioning a wafer within a chamber comprising:a pedestal for supporting the wafer within the chamber;a shaft extending downwardly from a lower region of the pedestal;a hollow shaft motor surrounding said shaft proximal to a distal portion the
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