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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0651995 (1996-05-20) |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 3 |
A device for holding a semiconductor wafer cassette to enable manipulation of the cassette during semiconductor manufacturing processes is disclosed. The device includes a shielding plate for enclosing an open face of a semiconductor wafer cassette. A pair of gripping arms are pivotally connected to
[ What is claimed is:] [1.] An apparatus for holding a semiconductor wafer cassette comprising:a pair of gripping plates for holding opposing edges of an open face semiconductor wafer cassette;means for actuating the pair of gripping plates between a first position and a second position;means for lo
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