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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0813520 (1997-03-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 28 인용 특허 : 20 |
A process for separating perfluoro compound gas or vapor from another gas, typically nitrogen, in a gas mixture. The process involves a combination of membrane separation and condensation, and is particularly useful in the semiconductor industry, for treating exhaust gases from cleaning of chemical
[ We claim:] [1.] A process for separating a perfluoro compound from a second gas in a gas mixture, said process comprising the steps of:(a) providing a first membrane having a first feed side and a first permeate side, and being selective for said second gas over said perfluoro compound;(b) passing
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