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Method and apparatus for removal of material utilizing near-blackbody radiator means 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B08B-007/00
출원번호 US-0703977 (1996-08-28)
발명자 / 주소
  • Bender Jim
출원인 / 주소
  • New Star Lasers, Inc.
대리인 / 주소
    Shahani
인용정보 피인용 횟수 : 18  인용 특허 : 8

초록

An apparatus and method for removal of material from a substrate including a near black-body flashlamp-type radiator means for providing radiant electromagnetic energy, an ultraviolet radiator means, lamp head or other focusing means for directing the light energy and ultraviolet radiation onto the

대표청구항

[ We claim:] [1.] An apparatus for removal of a layer of material coating a substrate utilizing radiant electromagnetic energy, the apparatus comprising:near black-body radiator means for providing radiant electromagnetic energy in a pulsed mode, the radiant electromagnetic energy having a bandwidth

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Blum Samuel E. (White Plains NY) Brown Karen H. (Yorktown Heights NY) Srinivasan Rangaswamy (Ossining NY), Far UV patterning of resist materials.
  2. Cates Michael C. (Solana Beach) Hamm Richard R. (San Diego) Hoogerwerf John D. (San Diego CA), Method and system for control of a material removal process using spectral emission discrimination.
  3. Cates Michael C. (Solana Beach CA) Hamm Richard R. (San Diego CA) Lewis Michael W. (Wichita KS) Schmitz Wayne N. (St. Louis MO), Method and system for removing a coating from a substrate using radiant energy and a particle stream.
  4. Hamm Richard R. (San Diego CA) Hoogerwerf John D. (San Diego CA), Method and system for selective removal of material coating from a substrate using a flashlamp.
  5. Lloyd Daniel L. (Mason OH), Method for removal of surface coatings.
  6. Cates Michael C. (Solana Beach CA) Hamm Richard R. (San Diego CA), Photoacoustic control of a pulsed light material removal process.
  7. Asmus John (La Jolla CA) Boyer Keith (Los Alamos NM), Photodecontamination of surfaces.
  8. Engelsberg Audrey C. (23 Elmer Pl. Milton VT 05468), Removal of surface contaminants by irradiation from a high-energy source.

이 특허를 인용한 특허 (18)

  1. Fayfield Robert T. ; Schwab Brent, Apparatus for processing both sides of a microelectronic device precursor.
  2. Butterbaugh,Jeffery W.; Gray,David C.; Fayfield,Robert T.; Siefering,Kevin; Heitzinger,John; Hiatt,Fred C., Apparatus for surface conditioning.
  3. Bender Jim, Decontamination of water by photolytic oxidation/reduction utilizing near blackbody radiation.
  4. Bender Jim, Decontamination of water by photolytic oxidation/reduction utilizing near blackbody radiation.
  5. Hennings, David R.; Fullmer, David J.; Lindsay, Craig; Goldman, Mitchel P.; Hennings, Thomas; Kiripolsky, Monika G., Endovenous laser treatment generating reduced blood coagulation.
  6. Fayfield Robert T. ; Schwab Brent, Equipment for UV wafer heating and photochemistry.
  7. Fayfield, Robert T.; Schwab, Brent, Equipment for UV wafer heating and photochemistry.
  8. Bender Jim, Method and apparatus for removal of material utilizing near-blackbody radiator means.
  9. Shizuka Yoshiaki,JPX, Method and apparatus for removing residual dirt adhered on dies.
  10. Jeffery W. Butterbaugh ; Brent Schwab, Method of surface preparation.
  11. Yancey, Peter Joseph; Kingsley, Jeffrey, Plasma source with integral blade and method for removing materials from substrates.
  12. Bender, Jim, Pulsed blackbody radiation flux enhancement.
  13. Hennings, David R.; Fullmer, David J.; Lindsay, Craig; Taylor, Eric B.; Weiss, Robert A., Sonic endovenous catheter.
  14. Moriya, Tsuyoshi; Nagaseki, Kazuya, Substrate processing system, substrate processing method, and storage medium.
  15. Hennings, David R.; Goldman, Mitchell P.; Weiss, Robert A.; Taylor, Eric B.; Johnson, Don, System and method for endovenous treatment of varicose veins with mid infrared laser.
  16. Baumgardner,Jonathan M.; Hennings,David R.; Johnston, Jr.,Thomas F.; Taylor,B. Eric; Goldman,Mitchell P., Treatment Site Cooling System of Skin Disorders.
  17. Doucoure, Abdoulaye; Salinaro, Richard F.; Mizuno, Yoshiki, UV treated membranes.
  18. Doucoure, Abdoulaye; Salinaro, Richard F.; Mizuno, Yoshiki, UV treated membranes.
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