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특허 상세정보

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Fluid thermal mass flow sensor

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G01F-001/68   
미국특허분류(USC) 73/204.27
출원번호 US-0652868 (1996-05-23)
발명자 / 주소
  • Ritchart Thomas R.
출원인 / 주소
  • Varian Associates, Inc.
대리인 / 주소
    Auyang
인용정보 피인용 횟수 : 16  인용 특허 : 25
초록

A fluid thermal mass flow meter including a composite flow tube having four tubular segments of high thermal conductivity formed in a length of tube made of a material having a relatively low thermal conductivity, a thin film element formed on the surface of and extending around each of the four tubular segments, circuitry for incorporating the elements into a bridge circuit, and a housing for containing the flow tube, elements, and circuitry.

대표
청구항
▼

[ What is claimed is:] [1.] A thermal mass flow meter for measuring fluid flow rate comprising:a housing;a composite sensor tube of a first material having a first thermal conductivity and including segments of a second material having a second thermal conductivity greater than said first conductivity, the tube and segments being attached together for conducting fluid the mass flow rate of which is to be measured, and having at least two resistive thin film elements formed on said segments of said second material, said sensor tube being thermally sunk to...

이 특허에 인용된 특허 (25)

  1. Van Bavel Cornelius H. M. (Rte. 1 ; Box 923-9 Center Point TX 78010) Van Bavel Michael G. (1903 Woodvale Rd. Missouri City TX 77489), Apparatus for measuring sap flow.
  2. Hinkle Luke D. (Townsend MA) Provost James (Derry NH), Differential current thermal mass flow transducer.
  3. Mariano, Charles F., Fast responsive flowmeter transducer.
  4. Bohrer Philip J. (Minneapolis MN), Flow sensor housing.
  5. Rutherford Ralph E. (16428 Englewood Los Gatos CA 95030), Flow splitting device for fluid flow meter.
  6. Suzuki Isao (Tokyo JPX), Flowmeter sensor.
  7. Jouwsma Wijbren (Lochem NLX), Fluid flow measuring device.
  8. Drexel Charles F. (Rolling Hills Estates CA) Blair Richard F. (Long Beach CA), Fluid mass flow meter device with reduced attitude sensitivity.
  9. Hartemink Gerrit A. (Harderwijk NLX), Improved flow meter.
  10. Ohmi Tadahiro (2-1-17 ; Komegafukuro Sendai-City Miyagi-Prefecture ; 980 JPX) Mihira Hiroshi (74-11 ; Takaba-cho Mukaijima ; Fushimi-ku ; Kyoto ; 612 JPX) Satoh Kiyoshi (22-1 ; Terado-cho Mukoh-City , Mass flow controller.
  11. Vavra Randall J. (3131 Arlington Ave. Riverside CA 92506) Doyle Michael J. (2705 Calle Lona Riverside CA 92503), Mass flow meter.
  12. Abouchar John W. (18881 Patrician Dr. Villa Park CA 92667) Doyle Michael J. (2705 Calle Loma Roja Riverside CA 92805), Mass flow meter with reduced attitude sensitivity.
  13. Blair Richard F. (Palos Verdes Peninsula CA), Mass flow meter with reduced attitude sensitivity.
  14. Suzuki Isao (Tokyo JPX), Mass flow sensor.
  15. LeMay Dan B. (Palos Verdes Estates CA), Mass flow sensor system.
  16. Isoda Yoritaka (Amagasaki JPX), Mass flowmeter.
  17. Olin John G. (Carmel Valley CA) Korpi David M. (Monterey CA), Mass flowmeter.
  18. Satoh Kiyoshi (Miyanohigashi JPX) Kimura Noriyuki (Miyanohigashi JPX), Mass flowmeter with hermetically sealed housing.
  19. Landis Donald (Hollis NH) Fabricius John H. (Westford MA), Modular, self-diagnostic mass-flow controller and system.
  20. Yajima Yasuhito (Nagoya JPX) Ishiguro Fujio (Nagoya JPX) Ishikawa Zenji (Anjo JPX), Resistor element having lead wire consisting of wire rod and covering alloy layer.
  21. Hwang Chang H. (Seoul KRX), Sensor device for mass flow controller.
  22. Tujimura Kiyoharu (Kyoto JPX) Akebe Osamu (Kyoto JPX) Satoh Kiyoshi (Kyoto JPX), Thermal flow meter.
  23. Wachi Akira (Tokyo JPX) Hayashi Munehisa (Tokyo JPX), Thermal mass flow meter.
  24. Vavra Randall J. (Orange CA) Nguyen Lam T. (Garden Grove CA) Tran Erik Q. (Garden Grove CA), Thermal mass flow sensor.
  25. Ewing James H. (Brockton MA) Ramberg Fred G. (Salem MA), Thermal mass flowmetering.

이 특허를 인용한 특허 (16)

  1. Ambrosina, Jesse; Shajii, Ali, Apparatus and method for thermal dissipation in a thermal mass flow sensor.
  2. Ambrosina, Jesse; Suzuki, Isao, Apparatus and method for thermal isolation of thermal mass flow sensor.
  3. Ambrosina, Jesse; Suzuki, Isao; Shajii, Ali, Apparatus and method for thermal management of a mass flow controller.
  4. Thomas O. Maginnis, Jr., Constant temperature gradient differential thermal mass flow sensor.
  5. Berkcan, Ertugrul; Hoyle, Scott Baxter, Constant-temperature-difference bidirectional flow sensor.
  6. Suzuki Isao,JPX, Flow rate sensor implementing a plurality of inner tubes located within a sensor tube.
  7. Suzuki,Isao, Flow rate sensor implementing a plurality of inner tubes located within a sensor tube.
  8. Suzuki,Isao, Flow sensor.
  9. Vincze, Craig A.; Gibson, James; Parsons, James D.; Fehlman, Thomas E., Mass flow meter with chip-type sensors.
  10. Vincze,Craig A.; Gibson,James; Parsons,James D.; Fehlman,Thomas E., Mass flow meter with symmetrical sensors.
  11. McMillan Robert D. ; McMillan Robert M., Mass flow sensor system for fast temperature sensing responses.
  12. Lotters, Joost Conrad; Boer, Hendrik Jan; Jouwsma, Wybren, Mass flowmeter.
  13. Pascal Rudent FR; Andre Boyer FR; Alain Giani FR; Pierre Navratil FR, Sensor for a capillary tube of a mass flow meter.
  14. Polzin,Kurt A.; Korman,Valentin; Markusic,Thomas E.; Stanojev,Boris Johann, System and method for determining velocity of electrically conductive fluid.
  15. Azima Faramarz, Techniques for making and using a sensing assembly for a mass flow controller.
  16. Korniyenko,Oleg; Chandu Lall,David V.; Park,Daesik, Thermal mass flow sensor.

IPC 상위 출원인