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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0663644 (1996-06-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 131 인용 특허 : 0 |
Microfabricated filters utilizing a bulk substrate structure and a thin film structure and a method for constructing such filters. The pores of the filters are defined by spaces between the bulk substrate structure and the thin film structure and are of substantially uniform width, length and distri
[ What is claimed is:] [1.] A microfabricated filter, comprising:a bulk substrate structure having openings therethrough, said bulk substrate structure having a substantially uniform predetermined thickness; anda thin film structure having openings therethrough, wherein said thin film structure is p
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