[특허]Device for masking or covering substrates

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Device for masking or covering substrates 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-014/34
출원번호	US-0834142 (1997-04-14)
발명자 / 주소	Kempf Stefan,DEX
출원인 / 주소	Singulus Technologies GmbH, DEX
대리인 / 주소	Pillsbury Madison & Sutro
인용정보	피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 0

초록 ▼

A device including a sputtering cathode 2 and masks for masking or covering portions of a surface of a substrates 27, having a center mask guide element 56 on which a center mask 26, which covers the substrate 27, is disposed and works together with an outer mask 4 in such a way that only the uncovered part of the substrate 27 is coated during the coating process. The inner and/or the outer masks 4, 26 can be adjusted independently of each other along a longitudinal center axis 58 of the device.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A device comprising a sputtering cathode (2) and masking means for masking or covering first portions of a surface of a substrate (27) when the substrate is in position to have a second portion of the surface of the substrate coated by material emitted from said sputtering cathode, wherein said masking means comprise: a center mask (26) for masking one first portion of the substrate surface; a center mask guide element (56) supporting said center mask; an outer mask (4) for masking another first portion of the substrate surface; and displacement means coupled to at least one of said masks for effecting relative displacement of one of said masks relative to the other one of said masks.

이 특허를 인용한 특허 (14)

Rinaldi, Kenneth James, Apparatus and method for forming reflective layer of optical disc.
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Takehara, Shintaro, BCA recording on optical recording medium.
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Savage, Paul; Lydon, Dave; Davis, Robert A., Content unlocking.
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Mueller, William R.; Pickutoski, Ed, Dual sided optical storage media and method for making same.
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Gensel, Lewis; Pickutoski, Ed, High-density optical recording media and method for making same.
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Ken Lee ; Ke Ling Lee ; Mingwei Jiang ; Robert M. Martinson, Horizontal sputtering system.
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Ikeda Jiro,JPX ; Kinokiri Kyoji,JPX, Magnetron sputtering apparatus for single substrate processing.
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Takehara, Shintaro, Method for replicating media using unique identifiers.
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Mueller, William R., Multi-purpose high-density optical disc.
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Mueller, William R., Multi-purpose high-density optical disc.
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Khazanov, Alexander Boris; Rou, Shanghsien; Yu, Jie-Ming; McLeod, Paul Stephen; Shows, Mark Anthony; Hwang, Kuo-Hsing; Shih, Chung-Yuang, Sputtering target assembly and method for depositing a thickness gradient layer with narrow transition zone.
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Shanghsien Rou ; Alexander Boris Khazanov ; Jie-Ming Yu ; Paul Stephen McLeod ; Mark Anthony Shows ; Kuo-Hsing Hwang ; Chung-Yuang Shih, Sputtering target assembly and method for depositing a thickness gradient layer with narrow transition zone.
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Lee Ke Ling ; Mazur Mikhail ; Lee Ken ; Martinson Robert M., System and method for handling and masking a substrate in a sputter deposition system.
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Ke Ling Lee ; Mikhail Mazur ; Ken Lee ; Robert M. Martinson, System and method for transporting and sputter coating a substrate in a sputter deposition system.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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