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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0517388 (1995-08-21) |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 14 |
An apparatus for the spin coating of substrates including a substrate carrier, a motor for rotating the substrate carrier, and a spinning bowl surrounding the substrate carrier. A lid is also provided in this spin coating apparatus which at least partially covers the spinning bowl for diminishing th
[ We claim:] [1.] An apparatus for the spin coating of substrates comprising:means for carrying a substrate;motor means for rotating said substrate carrier means;a spinning bowl surrounding said substrate carrier means; anda lid member at least partially covering said spinning bowl for diminishing t
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