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특허 상세정보

Two stage valve for charging and/or vacuum relief of pods

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B65B-001/04   
미국특허분류(USC) 141/351 ; 141/098 ; 414/217
출원번호 US-0678890 (1996-07-12)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Fliesler, Dubb, Meyer & LovejoyLLP
인용정보 피인용 횟수 : 40  인용 특허 : 3
초록

A valve mounted in pod door of a SMIF pod for allowing gas flow to and from the sealed pod while the pod is seated on a SMIF port. The valve is provided to allow fluid flow to or from the pod upon the valve be actuated by either a standard registration pin or a specially adapted fluid flow pin. The valve includes a body and a valve stem capable of vertical translation within the valve body. A spring biases the valve stem downward with respect to the valve body such that a top of the valve stem lies in sealing engagement with a O-ring 54. When not engaged...

대표
청구항

[ We claim:] [1.] A valve for a pod used to store and transport semiconductor workpieces, the pod capable of being seated on a pin mounted in a support platform, comprising:a valve body capable of being mounted to the pod; anda valve stem translationally mounted entirely within said valve body, said valve stem capable of occupying a first position, where said valve body and said valve stem are capable of blocking fluid flow between the pod and an environment surrounding the pod, and said valve stem capable of occupying a second position, where said valve...

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 40

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