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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0833424 (1997-04-07) |
우선권정보 | JP-0175940 (1992-06-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 0 |
In a vertical heat treatment apparatus, a transfer apparatus is used to transfer a wafer between a wafer carrier and a wafer boat. The transfer apparatus comprises a base unit, a fork, three non-contact type sensors, and a main controller. The base unit can move between a first position at which to
[ What is claimed is:] [1.] A transfer apparatus in a vertical heat treating system,said vertical heat treating system comprising,a container placing section for placing a container in said system, said container holding a plurality of substrates in a stacked state with a distance therebetween,a hea
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