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Miniature hydrostat fabricated using multiple microelectromechanical processes

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01L-007/08
출원번호 US-0840780 (1997-04-16)
발명자 / 주소
  • Last Howard R.
  • Fan Lawrence C.
  • Balestrieri Ralph E.
  • Garvick Donald R.
  • Wood Robert L.
출원인 / 주소
  • The United States of America as represented by the Secretary of the Navy
대리인 / 주소
    Dobyns
인용정보 피인용 횟수 : 15  인용 특허 : 4

초록

An improved hydrostat constructed on a silicon wafer by microfabrication methods similar to those used for integrated circuits and other devices. A thin section of the wafer acts as a diaphragm, responsive to pressure of ambient water. A lever arm is affixed at its first end to one point on the surf

대표청구항

[ What we claim as our invention is:] [1.] An improved ambient fluid pressure sensor for determining when a predetermined pressure surrounds the sensor, comprisinga. a planar wafer, including a relatively thin section surrounded by a relatively thick section,b. a housing for the wafer, so arranged t

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Lutz Mark A. (Minneapolis MN) Krueger William B. (Bloomington MN), High overpressure low range pressure sensor.
  2. Mokwa Wilfried (Krefeld DEX) Kandler Michael (Erftstadt DEX) Amelung Jorg (Krefeld DEX), Layered diaphragm pressure sensor with connecting channel.
  3. Polla Dennis L. (Brooklyn Park MN), Microdevice with ferroelectric for sensing or applying a force.
  4. Burns David W. (Minneapolis MN) Guckel Henry (Madison WI) Zook James D. (Minneapolis MN), Opto-electro-mechanical device or filter, process for making, and sensors made therefrom.

이 특허를 인용한 특허 (15)

  1. Michael J. Sinclair ; Jeremy A. Levitan, Addressable fuse array for circuits and mechanical devices.
  2. Wagner, David E.; Hoffman, James H.; Lopopolo, Gerald, Isolation technique for pressure sensing structure.
  3. Wagner, David E.; Hoffman, James H.; Lopopolo, Gerald, Isolation technique for pressure sensing structure.
  4. Garvick Donald R. ; Fan Lawrence C. ; Kuester Bruce R. ; Birk Gregory R., MEMS emergetic actuator with integrated safety and arming system for a slapper/EFI detonator.
  5. Deeds, Michael A.; Herman, David, MEMS type flow actuated out-of-plane flap.
  6. Linn, Eric H.; Deeds, Michael A.; Herman, David, MEMS type thermally actuated out-of-plane lever.
  7. Staple, Bevan; Miller, David; Muller, Lilac Muller, Method for reducing leaching in metal-coated MEMS.
  8. Herman, David; Deeds, Michael, Out-of-plane deflection MEMS actuator for projectile control surfaces.
  9. Sato, Kenta; Kitahara, Naoki, Physical quantity detector.
  10. Robert, Philippe; Jourdan, Guillaume, Pressure measurement device having an optimized sensitivity.
  11. Sato, Kenta, Pressure sensor.
  12. Besling, William Frederick Adrianus; Steeneken, Peter Gerard; Wunnicke, Olaf, Pressure sensor with pressure-actuated switch.
  13. Eickhoff, Martin; Krötz, Gerhard; Richter, Christoph; Cavalloni, Claudi; Gnielka, Marco, Pressure sensor, a method for manufacturing a pressure sensor and a combustion engine having a pressure sensor.
  14. Barron, Leo, Pressure transducer.
  15. Barron,Leo, Pressure transducer.
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