[특허]Piezoelectric sensor for hydride gases, and fluid monitoring apparatus comprising same

Piezoelectric sensor for hydride gases, and fluid monitoring apparatus comprising same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01N-031/02 G01N-031/22 G01N-030/00
출원번호	US-0785342 (1997-01-17)
발명자 / 주소	Miller Cynthia A. Tom Glenn M.
출원인 / 주소	Advanced Technology Materials, Inc.
대리인 / 주소	Hultquist
인용정보	피인용 횟수 : 25 인용 특허 : 0

초록 ▼

A sensor element for detection of a trace fluid component in a fluid stream or other fluid environment, comprising a piezoelectric crystal having a fundamental resonant frequency in response to an applied oscillating electric field, and an inert porous material coating on the piezoelectric crystal containing a metal species which is reactive with the trace fluid component to yield a solid interaction product of changed mass in relation to initial mass of the metal species interacting with the trace fluid component to yield the solid interaction product. Such sensor element may be employed in a sensor apparatus for applying an oscillating electric field to the piezoelectric crystal which generates an output resonant frequency therefrom, together with (i) sampling the output resonant frequency of the piezoelectric crystal, (ii) determining the change in resonant frequency occurring on formation of the solid interaction product, and (iii) generating an output indicative of the presence of the trace fluid component in the fluid environment. The sensor may be utilized for detection of hydride gases in environmental gas monitoring applications, as well as in end point detectors in scrubbing and other gas processing operations.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A sensor element for detection of a trace fluid component in a fluid environment, comprising:a piezoelectric crystal having a fundamental resonant frequency in response to an applied oscillating electric field; andan inert porous material coating on the piezoelectric crystal to provide a coated piezoelectric crystal, the coating containing a metal species which is reactive with the trace fluid component to yield a solid interaction product of changed mass in relation to an initial mass of the metal species interacting with the trace fluid component to yield the solid interaction product, the coated piezoelectric crystal exhibiting a frequency response rate to the trace fluid component in the range of from about 0.001 to about 100,000 milliHertz/min/(part-per-million of the fluid component); rein the sensor element is constructed and arranged to measure the differential frequency rate of change, dF/dt.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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