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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0751631 (1996-11-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 197 인용 특허 : 6 |
An electroless deposition apparatus and a method of electroless deposition that uses a single process chamber for performing multiple processes by moving through the process chamber a variety of fluids one at a time in a sequential order.
[ We claim:] [1.] A method for processing a semiconductor wafer using electroless deposition that subjects the wafer to more than one processing fluid in a sealed process chamber while retaining the wafer in said sealed process chamber and allowing the processing of wafers to proceed in the absence
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