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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0575763 (1995-12-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 3 |
An apparatus for adjusting the tension on a heating filament in a reactor used in carbon deposition on a substrate via chemical-vapor deposition is disclosed, as is a method for preventing breakage of the filaments during operation. The apparatus comprises a force regulator attached to an array of h
[ What is claimed is:] [1.] A reactor, comprising:a first electrode;a movable electrode spaced from the first electrode, wherein the movable electrode is adapted to pivotabout a line intersecting and perpendicular to the movable electrode;a heating filament array attached to the first electrode and
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