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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0736919 (1996-10-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 224 인용 특허 : 2 |
A system and method for detecting faults in wafer fabrication process tools by acquiring real-time process parameter signal data samples used to model the process performed by the process tool. The system includes a computer system including a DAQ device, which acquires the data samples, and a fault
[ What is claimed is:] [1.] A system for detecting faults in a process tool, comprising:means for receiving process event signals generated by the process tool;a data acquisition device configured to acquire a sample of process parameter signals during operation of the process tool;a model configure
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