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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0649576 (1996-05-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 32 인용 특허 : 15 |
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[ We claim:] [1.] A method for evaluating parameters of a stack of thin film layers on a sample comrprising:identifying a group of thin film parameters to be evaluated;defining a genotype as a collection of genes, each gene corresponding to a selected one of the group of thin film parameters to be e
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