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Non-contact surface temperature, emissivity, and area estimation

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01J-005/00
출원번호 US-0818278 (1997-03-17)
발명자 / 주소
  • Spitzberg Richard M.
출원인 / 주소
  • Massachusetts Institute of Technology
대리인 / 주소
    Lappin & Kusmer LLP
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 15

초록

Method and apparatus for non-contact temperature, emissivity and area estimation for gray and non-gray (uniform and non-uniform surface emissivity) are disclosed. Optical power measurements are obtained for radiation from a surface of interest in multiple wavelength bands. These power measurements a

대표청구항

[ The invention claimed is:] [1.] A method for estimating area of a target surface in a processing region, comprising:providing a detector for receiving radiation from the processing region;providing in the processing region a reflecting surface having a known emissivity characteristic and temperatu

이 특허에 인용된 특허 (15)

  1. Crowley John L. (Fremont CA) Kermani Ahmad (Fremont CA) Lassig Stephan E. (Milpitas CA) Johnson Noel H. (San Jose CA) Rickords Gary R. (Fremont CA), Apparatus and method for compensating for errors in temperature measurement of semiconductor wafers during rapid thermal.
  2. Najm Habib N. (Dallas TX) Moslehi Mehrdad M. (Dallas TX) Banerjee Somnath (Dallas TX) Velo Lino A. (Dallas TX), Apparatus and method for determining wafer temperature using pyrometry.
  3. Khan Mansoor A. (Grafton MA) Allemand Charly (Newtonville MA) Eagar Thomas W. (Belmont MA), Emissivity independent multiwavelength pyrometer.
  4. Marui Tomohiro (Fuchu JPX) Arai Kazuo (Chiba JPX), Method and apparatus for process control of material emitting radiation.
  5. Tank Volker (Eching a.A. DEX), Method of and device for contactless temperature measurement of an object independently of radiation emissivity.
  6. Schietinger Charles W. (Portland OR) Adams Bruce E. (Portland OR), Non-contact optical techniques for measuring surface conditions.
  7. Elleman Daniel D. (San Marino CA) Allen James L. (La Crescenta CA) Lee Mark C. (Rockville MD), Noncontact temperature pattern measuring device.
  8. Makino Toshiro (Kyoto JPX) Tsujimura Hiroji (Osaka JPX) Arima Jiro (Osaka JPX), Pyrometer.
  9. Brisk Richard (Wayland MA) Kasindorf Barry (Framingham MA) Stein Alexander (Secaucus NJ), Pyrometer #2.
  10. Thompson Thomas E. (Los Altos CA) Westerberg Eugene R. (Palo Alto CA), Pyrometer apparatus and method.
  11. Kienitz Ulrich (Dresden DDX), Pyrometric measurement procedure and multi-channel pyrometer.
  12. Tanaka Fumio (Fukuoka IN JPX) DeWitt David P. (West Lafayette IN), Radiation thermometry.
  13. Christensen Douglas A. (Salt Lake City UT), Spectroscopic method and apparatus for optically measuring temperature.
  14. Schietinger Charles W. (Portland OR) Adams Bruce E. (Portland OR), Techniques for measuring the thickness of a film formed on a substrate.
  15. Allen John B. (Richardson TX), Temperature measuring method using infrared sensors and processor.

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Bevan,Edward James; Briggs,Max Michael; DiDomenico,John; Gedridge, Jr.,Robert W., Compact emissivity and temperature measuring infrared detector.
  2. Nishino, Hironori; Matsumiya, Yasuo, Heat source detection device and heat source detection method.
  3. Ih, Jeong Guon; Park, Chul Min, Method for optimally determining sensor positions for acoustic pyrometry.
  4. Ernst,Holger, Method of defining the emission coefficient of a surface to be heated.
  5. Twerdochlib, Michael, Method of measuring in situ differential emissivity and temperature.
  6. Twerdochlib, Michael, Method of measuring in situ differential emissivity and temperature.
  7. Pei, Cheng-Wei; Emadi, Arvin, System including distance sensor for non-contact temperature sensing.
  8. Chamberlain,Gary Roy; Mellor,Andrew; Ridley,Ian Hamilton, Thermal imaging system and method.
  9. Rudlaff,Joel, Vehicle floor temperature sensing fixture.
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