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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0801644 (1997-02-18) |
우선권정보 | DE-0005598 (1996-02-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 67 인용 특허 : 2 |
A device 1 for gripping and holding substrates 2 with one or several substrate holders 5 arranged in a vacuum chamber 4, 4', 4" and one or several displaceably arranged grippers 3, which can be displaced into a first position through the action of an operating pressure or against the action of a spr
[ We claim:] [1.] A device (1) for gripping and holding a substrate (2), said device comprising:a substrate holder (5) and substrate gripping means including at least one substrate gripper (3) displaceably mounted in said substrate holder, said substrate gripper being displaceable between a substrat
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