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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0931639 (1997-09-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 6 |
Methods and systems of delivering ultra-high purity gas to a point of use are claimed and described. The methods include providing a source of ultra-high purity liquid (the source preferably at a pressure and temperature sufficient to maintain the liquid in substantially the liquid phase); transport
[ What is claimed is:] [1.] A method of delivering an ultra-high purity gas from a first station to a second station distal from the first station, the method comprising the steps of:(a) providing a source of an ultra-high purity liquid, the ultra-high purity liquid having a characteristic of being
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