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특허 상세정보

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Methods and systems for delivering an ultra-pure gas to a point of use

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F17C-009/02   
미국특허분류(USC) 62/050.2 ; 62/606
출원번호 US-0931639 (1997-09-16)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Wendt
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 6
초록
▼

Methods and systems of delivering ultra-high purity gas to a point of use are claimed and described. The methods include providing a source of ultra-high purity liquid (the source preferably at a pressure and temperature sufficient to maintain the liquid in substantially the liquid phase); transporting (preferably via pressure in the source alone) the ultra-high purity liquid from the source to one or more means to effect a phase change of the ultra-high purity liquid to an ultra-high purity gas; effecting a phase change (preferably at or near equilibriu...

대표
청구항
▼

[ What is claimed is:] [1.] A method of delivering an ultra-high purity gas from a first station to a second station distal from the first station, the method comprising the steps of:(a) providing a source of an ultra-high purity liquid, the ultra-high purity liquid having a characteristic of being liquefied at room temperature with a vapor pressure above atmospheric pressure, the source having a source pressure;(b) transporting the ultra-high purity liquid from the source to one or more means to effect a phase change of the ultra-high purity liquid to f...

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Friedt Jean-Marie (San Francisco CA). Bulk delivery of ultra-high purity gases at high flow rates. USP1997105673562.
  2. Mostowy ; Jr. Lewis J. (Fogelsville PA) Chowdhury Naser M. (Schnecksville PA). High purity bulk chemical delivery system. USP1994115359787.
  3. Liyanage A. Nimal (Ibaraki JPX) Ozawa Eiichi (Chiba JPX) Yokogi Kazuo (Tokyo JPX) Friedt Jean-Marie (Tokyo JPX). Method and system for assessing the operating condition of a pressure regulator in a corrosive gas distribution system. USP1997105677480.
  4. Egan James J. (Allentown PA) Koze Jeffrey T. (Whitehall PA) Kumagai Henry Y. (Allentown PA). Methods of and apparatus for storing and delivering a fluid. USP1986044583372.
  5. Tsukamoto Toshiyuki (Ushiku JPX) Fanjat Norbert (Tsukuba JPX) Friedt Jean (Tokyo JPX). Process for distributing ultra high purity gases with minimized contamination and particulates. USP1997015591273.
  6. Kimura Masao (Tsuchiura JPX) Tsukamoto Toshiyuki (Ushiku JPX) Tarutani Kohei (Tsukuba JPX) Friedt Jean-Marie (Tokyo JPX). Process for distributing ultra high purity gases with minimized corrosion. USP1997105676762.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 10

  1. Ballantine Arne W. ; Warren Ronald A.. Cryogenic/phase change cooling for rapid thermal process systems. USP2000086105274.
  2. Gershtein,Vladimir Yliy. High-pressure delivery system for ultra high purity liquid carbon dioxide. USP2006077069742.
  3. Sugawara, Ichiro. Liquified gas supply system and method thereof. USP2012028117851.
  4. Mason Thomas. Medical liquid oxygen storage, dispensing, and billing system and method. USP2001116311738.
  5. Thomas Mason. Medical liquid oxygen storage, dispensing, and billing system and method. USP2002126488056.
  6. Burgers, Kenneth Leroy; Chesters, Stephen; Germond, Justin Cole; Pryor, Edward; Erb, Jack W.; Pace, Keith Randall; Meredith, Brian Michael. Method and apparatus for simultaneous gas supply from bulk specialty gas supply systems. USP2013068468840.
  7. Torres, Jr., Robert; Vininski, Joseph V.; Giagnacova, Joseph; Yucelen, Belgin. Method and apparatus for the delivery of liquefied gases having constant impurity levels. USP2003106637212.
  8. Higashino, Katsuhiko; Hasegawa, Masanori; Noguchi, Tsuyoshi; Kishine, Mitsuru. PACKAGING MATERIAL FOR MOLDING MATERIAL AND PARTS FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION APPARATUSES, METHOD FOR PACKAGING BY USING SAME AND PACKAGED MOLDING MATERIAL AND PARTS FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION APP. USP2003126663924.
  9. Gershtein,Vladimir Yliy; Mattiola,Paul Anthony. System for supply and delivery of carbon dioxide with different purity requirements. USP2006077076970.
  10. Gershtein,Vladimir Yliy; Mattiola,Paul Anthony; Cirucci,John Frederick; Ivankovits,John Christopher. System for supply and delivery of high purity and ultrahigh purity carbon dioxide. USP2006077076969.

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