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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0880363 (1997-06-23) |
우선권정보 | JP-0181144 (1996-06-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 46 인용 특허 : 18 |
A dust removing apparatus equipped with a back washing mechanism and a dust removing method for removing solid silica fine powder contained in a gas discharged from a semiconductor producing step of a single-wafer processing atmospheric pressure CVD apparatus without causing problems caused by the i
[ What is claimed is:] [1.] A dust removing method for removing fine powder contained in an exhaust gas discharged from a semiconductor production step using a single wafer processing atmospheric pressure CVD apparatus, which comprises continuously carrying out a filtration using filters each equipp
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