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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0957141 (1997-10-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 71 인용 특허 : 24 |
A concentric-shaft rotational drive system for an articulated arm transfer device adaptable for imparting movement to an assembly inside a vacuum chamber wherein rotary movement is imparted to rotors inside the vacuum chamber by means of magnetic fields produced by stators outside the vacuum chamber
[ I claim:] [1.] A substrate transfer device comprising:a drive section having a housing, an electro-magnetic stator, and a drive shaft, the stator being stationarily connected to the housing and the drive shaft having a set of permanent magnets directly stationarily connected thereto, the stator be
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