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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0982914 (1997-12-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 16 |
An electrostatic chuck employs thermoelectric cooling technology. The chuck includes a conductive circular base with an upper ring portion forming a first pole piece electrically isolated from an annular portion forming a second pole piece. The upper surface of the pole pieces have a dielectric mate
[ What is claimed is:] [1.] An electrostic chuck comprising:a base havinga top clamping surface, anda bottom surface;an annular recess provided in the bottom surface;a plurality of spaced thermoelectric devices disposed within the annular recess;a plurality of intervening members disposed within the
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