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Flow controller, parts of flow controller, and related method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F16K-001/14
출원번호 US-0860343 (1997-10-02)
국제출원번호 PCT/US95/15157 (1995-11-20)
§371/§102 date 19971002 (19971002)
국제공개번호 WO-9621182 (1996-07-11)
발명자 / 주소
  • Mudd Daniel T.
  • Duong Hai
출원인 / 주소
  • Millipore Corporation
대리인 / 주소
    Fulwider Patton Lee & Utecht
인용정보 피인용 횟수 : 14  인용 특허 : 27

초록

A mass fluid flow controller has a valve which is controlled by a controller rod structure which is substantially pivotally mounted on a metallic diaphragm which stretches and unstretches with the movement of the rod structure. In the relationship between the controller rod structure and a ball whic

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A fluid flow controller having a sensor to measure fluid flow and an actuator to respond to the sensor, comprising:input pipe structure defining an inlet for receiving a fluid having a flow and defining a fluid flow opening through said structure;intermediate pipe structu

이 특허에 인용된 특허 (27)

  1. Drexel Charles F. (Rolling Hills Estates CA) Blair Richard F. (Long Beach CA), Adjustable laminar flow bypass.
  2. Quitschau Algird R. (Downers Grove IL) Seals Dennis K. (Carol Stream IL), Conduit attachment.
  3. Tujimura Kiyoharu (Kyoto JPX) Ohsasa Hiroshi (Kyoto JPX), Control valve.
  4. VON Koch ; Arwed, Electromagnetic control valve, especially for automatically shifting change-speed transmissions.
  5. Wolfe Denis G. (Santa Ana CA), Explosion resistant electric heat motor gas valve.
  6. Drexel Charles F. (Rolling Hills CA) Saghatchi Hamid (Orange CA), Flow control valve assembly minimizing generation and entrapment of contaminants.
  7. Nakajima Takeshi (Tokyo JPX), Flow dividing structure of mass flow controller.
  8. Drexel Charles F. (Rolling Hills CA) Saghatchi Hamid (Orange CA), Flow sensor connector.
  9. Saghatchi Hamid (Orange CA), Flow sensor connector.
  10. Drexel Charles F. (Rolling Hills CA) Mudd Daniel T. (St. Charles MO), Flowmeter.
  11. Benson Richard A. (Bedford MA) King Steven M. (North Grafton MA), Fluid control and shut off valve.
  12. Shimizu Tetsuo (Kyoto JPX) Tujimura Kiyoharu (Kyoto JPX) Iwamoto Michinori (Kyoto JPX), Fluid control device.
  13. Kelly Samuel T. (Torrance CA), Fuel control valve construction, parts therefor and methods of making the same.
  14. Ewing James H. (Brockton MA), Laminar-flow channeling in thermal flowmeters and the like.
  15. Ewing James H. (Lexington MA), Liquid pump and vaporizer.
  16. Saghatchi Hamid (Orange CA) Mudd Daniel T. (Torrance CA) Drexel Charles F. (Long Beach CA), Mass flowmeter having non-adjustable flow splitter.
  17. Satoh Kiyoshi (Miyanohigashi JPX) Kimura Noriyuki (Miyanohigashi JPX), Mass flowmeter with hermetically sealed housing.
  18. Ewing James H. (Brockton MA), Method of manufacturing a cartridge unit for establishing controlled laminar-flow conditions.
  19. Kebede Berhanu (Inglewood CA) George Marion L. (Northridge CA), Modulating control valve.
  20. Ewing James H. (Lexington MA), Modulating positive shutoff mechanism.
  21. Smith Daniel E. (New Hampton NH), Pivotal diaphragm, flow control valve.
  22. Lush ; William, Self-cleaning precision metering valve.
  23. Champseix Serge (Les Mureaux FRX), Switching microelectrovalve having a single diaphragm.
  24. Ewing James H. (Lexington MA), System for delivering and vaporizing liquid at a continuous and constant volumetric rate and pressure.
  25. Peacock Roy N. (Lafayette CO) Vestman Lee E. (Lakewood CO), Vacuum processing system and method.
  26. Sharp Daryl (317 Woodhaven Chapel Hill NC 27514), Variable molecular separator.
  27. Korpi David M. (Monterey CA), Wide-range, adjustable flowmeter.

이 특허를 인용한 특허 (14)

  1. Shajii, Ali; Kottenstette, Nicholas; Ambrosina, Jesse, Apparatus and method for pressure fluctuation insensitive mass flow control.
  2. Shajii, Ali; Kottenstette, Nicholas; Ambrosina, Jesse, Apparatus and method for pressure fluctuation insensitive mass flow control.
  3. Shajii, Ali; Kottenstette, Nicholas; Ambrosnia, Jesse, Apparatus and method for pressure fluctuation insensitive mass flow control.
  4. Shajii,Ali; Kottenstette,Nicholas; Ambrosina,Jesse, Apparatus and method for pressure fluctuation insensitive mass flow control.
  5. Mendoza,Michael J.; Koch,Jason T., Compressed air flow controller.
  6. Noyes, Douglas B.; Briley, Jr., Leslie L.; Glew, Alexander, Control valves.
  7. Chernoff, Larry J., Integrated valve system.
  8. Dando,Ross S.; Mardian,Allen P.; Cantin,Raynald B.; Sandhu,Gurtej S., Liquid vaporizer with positive liquid shut-off.
  9. Dando,Ross S.; Mardian,Allen P.; Cantin,Raynald B.; Sandhu,Gurtej S., Methods of operating a liquid vaporizer.
  10. Dando,Ross S.; Mardian,Allen P.; Cantin,Raynald B.; Sandhu,Gurtej S., Methods of operating a liquid vaporizer.
  11. Gregor, Mariusch; Lane, John W., N-channel flow ratio controller calibration.
  12. Gregor, Mariusch; Lane, John W., N-channel flow ratio controller calibration.
  13. Vetsch Le Roy E. ; McNear ; Jr. Ira W., Self-aligning valve.
  14. Girouard, Erick, Valve with temperature activated triggers.
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