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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0860343 (1997-10-02) |
국제출원번호 | PCT/US95/15157 (1995-11-20) |
§371/§102 date | 19971002 (19971002) |
국제공개번호 | WO-9621182 (1996-07-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 27 |
A mass fluid flow controller has a valve which is controlled by a controller rod structure which is substantially pivotally mounted on a metallic diaphragm which stretches and unstretches with the movement of the rod structure. In the relationship between the controller rod structure and a ball whic
[ What is claimed is:] [1.] A fluid flow controller having a sensor to measure fluid flow and an actuator to respond to the sensor, comprising:input pipe structure defining an inlet for receiving a fluid having a flow and defining a fluid flow opening through said structure;intermediate pipe structu
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