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Process gas docking station with point-of-use filter for receiving removable purifier cartridges 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-053/00
  • B01D-027/08
  • B01L-011/00
출원번호 US-0822159 (1997-03-21)
발명자 / 주소
  • Cowan Cathy L.
  • Hong Lau Y.
출원인 / 주소
  • Semi-Gas Systems, Inc.
대리인 / 주소
    Law Offices of Thomas E. Schatzel A Prof. Corporation
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 17

초록

A docking station with a filter that sits inline in a process gas channel and that alternatively receives a loopback plate, a sensor plate and a removable purifier cartridge for particle removal as well as the removal of trace amounts of moisture, oxygen, and other chemical impurities from a gas str

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A process-gas docking station (10), comprising:a block body (12) having a plurality of sides, a plurality of bolt holes (22), and a flat docking face (23);a gas inlet (14) separate and independent from a gas outlet (18) that enter the block body through one of said plural

이 특허에 인용된 특허 (17)

  1. Urie Michael W. (Wilmington NC) Young William A. (Wilmington NC), Automated multiple stream analysis system.
  2. Wood Richard M. (Virginia Beach VA), Device for quick changeover between wind tunnel force and pressure testing.
  3. Lodge Arthur S. (210 DuRose Ter. Madison WI 53705), Extended range pressure transducers.
  4. Cato Michael W. (Newark CA), Face seal shut-off valve.
  5. Hunter, George S.; Walker, Brian; Merrie, Kenneth, Filters for purification of gases.
  6. Cato Michael W. (Newark CA) Bassett Scott B. (San Jose CA), Gas filter-purifier.
  7. Tom Glenn M. (New Milford CT), In-line detector system for real-time determination of impurity concentration in a flowing gas stream.
  8. Maeda Sadao (Okazaki JPX), In-line filter assembly for compressed air.
  9. Bard Allen J. (6202 Mountain Climb Dr. Austin TX 78731), Integrated chemical synthesizers.
  10. Bauer Heinz (Munich DEX) Herter Kurt (Eichenau DEX), Interchangeable and disposable filter cartridge and method of removing moisture and oil from compressed breathable air.
  11. Lang John (6800 Shingle Creek Pkwy. Brooklyn Center MN 55430), Manifold and disposable filter assembly.
  12. Legris Andre (St-Maur FR), Modular distributor box for fluids.
  13. Petrucci Raymond M. (Middlebury CT) Taylor Bruce G. (Kensington CT) Giordano Edward C. (Manchester CT) Padiall James M. (Covina Heights CA) Palmer Carl (La Habra Heights CA), Quick-change filter cartridge and head therefor.
  14. Yamamoto Yuji (Tochigi JPX) Shiina Kanichi (Tochigi JPX) Tokutake Toshinori (Tochigi JPX), Receiver for refrigerant apparatus.
  15. Onodera Athushi (Hohya JPX), Regulator.
  16. Voss Gunter (Much DEX), Sorption pump.
  17. Tom Glenn M. (New Milford CT), Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification.

이 특허를 인용한 특허 (13)

  1. Petersen, Kurt E.; McMillan, William A.; Pourahmadi, Farzad; Chang, Ronald; Dority, Douglas B., Cartridge for conducting a chemical reaction.
  2. Petersen, Kurt E.; McMillan, William A.; Pourahmadi, Farzad; Chang, Ronald; Dority, Douglas B., Cartridge for conducting a chemical reaction.
  3. Petersen, Kurt E.; McMillan, William; Pourahmadi, Farzad; Chang, Ronald; Dority, Douglas B., Cartridge for conducting a chemical reaction.
  4. Petersen, Kurt; McMillan, William; Pourahmadi, Farzad; Chang, Ronald; Dority, Douglas, Cartridge for conducting a chemical reaction.
  5. Niermeyer, J. Karl; de los Reyes, Gastón, Connector apparatus and system including connector apparatus.
  6. Cowan Cathy L. ; Melluzzo Luciano M., Contamination control system.
  7. Hiranaga,Hajime; Hoshino,Tatsuya, Filters.
  8. Hiranga,Hajime; Hoshino,Tatauya; Hiromichi,Itoh, Filtration systems and fitting arrangements for filtration systems.
  9. Dallas Andrew James, Gas chemical filtering for optimal light transmittance; and methods.
  10. Laverdiere, Marc; Clarke, Michael, Liquid filtration device.
  11. Laverdiere,Marc; Clarke,Michael, Liquid filtration device.
  12. Lomax, Jr, Franklin D.; Streeks, Michael S., Method and apparatus for pressure swing adsorption.
  13. Lomax, Jr., Franklin D.; Streeks, Michael S., Method and apparatus for pressure swing adsorption.
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