$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Method and apparatus for dispensing a liquid

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B05B-003/00
  • B05B-012/08
출원번호 US-0844204 (1997-04-18)
발명자 / 주소
  • Wang Wen Y.,TWX
  • Ma Yu L.,TWX
  • Jang Shih S.,TWX
  • Lee Tun L.,TWX
출원인 / 주소
  • Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd., TWX
대리인 / 주소
    Tung & Associates
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 6

초록

The present invention discloses a system and method for controlling the dispensing of a fine liquid for coating or other applications, by detecting the volume of liquid dispensed when coating a single workpiece and sending a signal to a controller to disable the dispensing when an insufficient volum

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] Apparatus for controlling the dispensing of a fine liquid used to coat a semiconductor wafer during fabrication thereof, comprising:container means for holding a supply of fine liquid to be dispensed;means for dispensing said fine liquid from said container means onto sai

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Sassak John J. (36855 Schoolcraft Livonia MI 48150), Beer dispensing and monitoring method and apparatus.
  2. Wheeldon Peter G. (Guildford GB2) Kent John (Nr. Petworth GB2), Fluid flow control process and apparatus.
  3. Ricciardi Ronald J. (Woodcliff Lake NJ) Laidlaw John S. (Pompton Plains NJ), Materials feeding system with level sensing probe and method for automatic bulk density determination.
  4. Tateyama Kiyohisa,JPX ; Motoda Kimio,JPX ; Sekiguchi Kenji,JPX ; Omori Tsutae,JPX, Method of forming a coating film and coating apparatus.
  5. Nanbu Mitsuhiro,JPX ; Iida Naruaki,JPX ; Gotou Hideaki,JPX ; Tateyama Masanori,JPX ; Yoshimoto Yuji,JPX ; Ishimoto Tomoko,JPX ; Yaegashi Hidetami,JPX ; Kawakami Yasunori,JPX ; Fukuda Takahide,JPX ; F, Semiconductor wafer processing apparatus including localized humidification between coating and heat treatment sections.
  6. Amada Haruo (Kamisato JPX) Kojima Akihiro (Kasugai JPX) Kagohashi Hiroshi (Kasugai JPX) Sakai Atsuyuki (Nagoya JPX) Shimura Katsumasa (Nagoya JPX) Maekawa Hisamitsu (Kasugai JPX), Spin coating apparatus.

이 특허를 인용한 특허 (6)

  1. Cho Ching Hua,TWX ; Chang Ming Chago,TWX ; Huang Yih Hwang,TWX ; Lai Wei Hao,TWX, Alarm system for detecting waste liquid discharge blockage.
  2. Veltrop, Loren; Lyons, Christopher, Apparatus and method for dispensing liquids using a table to determine dispense time.
  3. Veltrop, Loren; Lyons, Christoper, Apparatus and method for dispensing user-specified fixed volumes of liquids.
  4. Veltrop, Loren; Lyons, Christopher; Graef, Michael A., Holding tank with internally reinforced sidewalls and liquid dispenser using same.
  5. Veltrop, Loren; Lyons, Christopher, Pinch valve for dispenser for liquids.
  6. Lu Chung-Chien,TWX, Spin-on glass dispensing monitor.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트