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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0913485 (1997-09-17) |
우선권정보 | CH-0000765 (1996-03-17) |
국제출원번호 | PCT/CH96/00078 (1996-03-06) |
§371/§102 date | 19970917 (19970917) |
국제공개번호 | WO-9629570 (1996-09-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 4 |
A device and method for defining a three-dimensional structure of an object having a submicrometer size splits a coherent electromagnetic radiation beam into two partial beams including a first partial beam and a second partial beam. The first partial beam is focused on the object. The first partial
[ The following is claimed:] [19.] An apparatus for defining a three-dimensional structure of an object having a submicrometer size, the apparatus comprising:a splitter for splitting a coherent electromagnetic radiation beam into two partial beams including a first partial beam and a second partial
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