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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0749585 (1996-11-15) |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 2 |
Apparatus for controlling gas flow is provided and includes a block having a plurality of distribution channels, and an inlet receiving gas from a source, a plurality of solenoid valves each communicating with the inlet and one of the flow control meters, a plurality of flow control meters each comm
[ We claim:] [9.] A method for controlling gas flow comprising:providing a block including an inlet and a plurality of distribution channels formed therethrough, a plurality of solenoid valves in communication with the flow meters, a plurality of flow meters for regulating the flow through each chan
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