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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0735370 (1996-10-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 168 인용 특허 : 5 |
Apparatus and concomitant method for performing priority based scheduling of wafer processing within a multiple chamber semiconductor wafer processing system (cluster tool). The sequencer assigns priority values to the chambers in a cluster tool, then moves wafers from chamber to chamber in accordan
[ What is claimed is:] [1.] A method for scheduling semiconductor wafers for processing within a multiple chamber, semiconductor wafer processing system having a plurality of chambers, said method comprising:assigning a priority to each chamber in said plurality of chambers;selecting a chamber havin
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