최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0644011 (1996-05-09) |
우선권정보 | KR-0009688 (1995-05-09) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 3 |
A viscous fluid discharging apparatus is provided for removing air bubbles introduced during the passing of the viscous fluid before being supplied to the substrate. A viscous fluid discharging apparatus according to the present invention includes a viscous fluid storing container, a viscous fluid s
[ What is claimed is:] [1.] An apparatus discharging a viscous fluid in a semiconductor manufacturing process, comprising:a fluid storage container holding said viscous fluid;a fluid supply pump, wherein the supply pump pumps the viscous fluid from the storage container;a fluid filter, wherein the f
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.