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Viscous fluid discharging apparatus for manufacturing semiconductors having a removable bubble capturing portion

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B67D-005/06
출원번호 US-0644011 (1996-05-09)
우선권정보 KR-0009688 (1995-05-09)
발명자 / 주소
  • Yoo Seung-Seok,KRX
출원인 / 주소
  • LG Semicon, Ltd., KRX
대리인 / 주소
    Loudermilk & Associates
인용정보 피인용 횟수 : 14  인용 특허 : 3

초록

A viscous fluid discharging apparatus is provided for removing air bubbles introduced during the passing of the viscous fluid before being supplied to the substrate. A viscous fluid discharging apparatus according to the present invention includes a viscous fluid storing container, a viscous fluid s

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] An apparatus discharging a viscous fluid in a semiconductor manufacturing process, comprising:a fluid storage container holding said viscous fluid;a fluid supply pump, wherein the supply pump pumps the viscous fluid from the storage container;a fluid filter, wherein the f

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Honma Keizo (No. 6 ; Nishi 15-chome Minami 15 Jo ; Chuo-ku ; Sapporo JPX) Honma Kunizo (Sapporo JPX), Device for capturing air bubbles from fluids in piping.
  2. Kimura Shinichi (5-34 ; 5 JO ; Misono Toyohira ; Sapporo ; Hokkaido JA), Device for separating air bubbles of fluids in piping, and silencing water flow.
  3. Poirier Michel (1300 Beauregard Street Longueuil CAX J4K 4Z2), Pouring spout.

이 특허를 인용한 특허 (14)

  1. Arch,James J., Bottom draining tank with disposable liner and method.
  2. Yuji Matsuyama JP, Filter unit and solution treatment unit.
  3. Gonda, Steve R.; Tsao, Yow-Min D.; Lee, Wenshan, Fluid bubble eliminator.
  4. Lumpkin, Wayne R., Master cylinder lever for a bicycle hydraulic disc brake.
  5. Lumpkin,Wayne L, Master cylinder lever for a hydraulic disc brake having a backpack reservoir.
  6. Lumpkin, Wayne R, Master cylinder lever with independently variable rest position and engagement point.
  7. Lumpkin, Wayne R, Master cylinder lever with variable dead band and variable reach adjustment independent of the dead band adjustment.
  8. Lumpkin, Wayne R, Method and apparatus for adjusting a lever actuated hydraulic disc brake master cylinder.
  9. Lumpkin, Wayne R, Method of varying a rest position and a length of an actuation arc of a lever in a hydraulic disc brake system.
  10. Schmidt, Jeffrey A., Orientation insensitive combined liquid reservoir and gas/liquid separator.
  11. Hisao Kamo JP, Solution feeding apparatus and method of feeding solution.
  12. Lee, Jung Min, Spout assembly for liquid container.
  13. Lumpkin, Wayne R, Symmetric master cylinder lever for a hydraulic disc brake.
  14. Vince L. Marinaro ; Ted Wakamiya ; Eric Kent, System and method for purging air bubbles from filters.
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