[특허]Robot mounting de-coupling technique

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Robot mounting de-coupling technique 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65G-065/02
출원번호	US-0008615 (1998-01-16)
발명자 / 주소	Theriault Victor J.
출원인 / 주소	Brooks Automation Inc.
대리인 / 주소	Perman & Green, LLP
인용정보	피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 10

초록 ▼

A substrate processing apparatus includes a support frame, a substrate transport chamber connected to the support frame, and a substrate transfer robot located at least partially in the substrate transport chamber. The support frame includes a first section directly connected to the substrate transport chamber, and a second section directly connected to the substrate transfer robot. The second section is separate from the first section and includes mounting arms having leveling points. The leveling points support the substrate transfer robot and align the robot relative to the transport chamber. Further, the substrate transport chamber includes a wall having an aperture. The substrate transfer robot is located in the aperture. A flexible coupling flange is mounted between the wall of the substrate transport chamber and the substrate transfer robot. The flexible coupling flange seals a portion of the aperture between the wall and the substrate transfer robot.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A substrate processing apparatus comprising a support frame, a substrate transport chamber connected to said support frame, and a substrate transfer robot located at least partially in said substrate transport chamber, wherein said support frame comprises:a first section directly connected to said substrate transport chamber;a second section directly connected to said substrate transfer robot separate from said first section, anda base connecting said second section to said first section, said base having legs to support the substrate transport chamber and the support frame,wherein said first and second sections are directly rigidly connected to each other by said base.

이 특허에 인용된 특허 (10)

Eastman Richard H. (Needham MA) Davis ; Jr. James C. (Carlisle MA), Articulated arm transfer device.
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Hendrickson Ruth A. (Lincoln MA), Articulated arm transfer device.
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Tepman Avi ; Yin Gerald Zheyao ; Olgado Donald, Compartnetalized substrate processing chamber.
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Koyano Shinji (Tokyo JPX), In-vacuum conveyance robot.
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Hashimoto Taisaku (Kashiwara JPX), Magnetic drive device.
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Maydan Dan (Los Altos Hills CA) Somekh Sasson (Redwood City CA) Wang David N. (Cupertino CA) Cheng David (San Jose CA) Toshima Masato (San Jose CA) Harari Isaac (Mountain View CA) Hoppe Peter D. (Sun, Multi-chamber integrated process system.
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Hasegawa Takayuki,JPX ; Tanaka Yutaka,JPX ; Fujioka Hidehiko,JPX, Processing system and device manufacturing method using the same.
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Yonemitsu Shuji,JPX ; Karino Toshikazu,JPX ; Yoshida Hisashi,JPX ; Watahiki Shinichiro,JPX ; Yoshida Yuji,JPX ; Shimura Hideo,JPX ; Sugimoto Takeshi,JPX ; Aburatani Yukinori,JPX ; Ikeda Kazuhito,JPX, Substrate processing apparatus.
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Muka Richard S., Vacuum integrated SMIF system.
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Iwabuchi Katsuhiko (Sagamihara JPX) Takanabe Eiichirou (Kanagawa-Ken JPX), Wafer processing apparatus.
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이 특허를 인용한 특허 (5)

Kuipers,Leo Wilhelmus Maria; Franssen,Johannes Hendrikus Gertrudis, Insertion device, lithographic apparatus with said insertion device and device manufacturing method.
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Cordell,Andrew W.; Redding,Keith W., Robot with tactile sensor device.
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Krupyshev, Alexander G., Substrate apparatus calibration and synchronization procedure.
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Krupyshev, Alexander G., Substrate apparatus calibration and synchronization procedure.
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Krupyshev, Alexander G., Substrate apparatus calibration and synchronization procedure.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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