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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0837948 (1997-04-28) |
우선권정보 | JP-0148485 (1994-06-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 141 인용 특허 : 6 |
Vacuum process chambers are increased or decreased in number when the kind or order of processes is changed, and the shape and size of the transfer chamber are changed with the increase or decrease of the number of the vacuum process chambers, without entailing any change in a load-lock chamber and
[ What is claimed is:] [1.] A multi-chamber treatment system comprising:a substantially polygonal transfer chamber,a plurality of vacuum process chambers arranged in a polygonal shape around the transfer chamber, the number of which is initially variable and in each of which a process is to performe
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