[특허]Method of forming hydrogen-free diamond like carbon (DLC) films

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Method of forming hydrogen-free diamond like carbon (DLC) films 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B05D-003/06 C23C-016/26 H05H-001/00
출원번호	US-0860770 (1997-07-02)
우선권정보	KR-0039256 (1995-11-02)
국제출원번호	PCT/KR96/00192 (1996-11-02)
§371/§102 date	19970702 (19970702)
국제공개번호	WO-9716580 (1997-05-09)
발명자 / 주소	Jang Jin,KRX Park Kyu Chang,KRX
출원인 / 주소	Orion Electric Co., Ltd., KRX
대리인 / 주소	Fulbright & Jaworski L.L.P.
인용정보	피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 2

초록 ▼

The present invention relates to a method for forming substantially hydrogen free DLC layers, wherein DLC layer of thickness about 1 to 100 nanometers is deposited over a sample substrate or a field emitter array and subsequently exposed to etching plasma comprising fluorine gas, wherein during the latter step, hydrogen contained in the substrate is eliminated by chemical etching reaction with fluorine, wherein steps to form the hydrogen free DLC layer can be repeated to obtain a predetermined thickness of a DLC film.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A method of forming substantially and uniformly hydrogen free DLC films on a substrate comprising the steps of:growing a DLC film containing hydrogen and having a predetermined thickness on the substrate;exposing the surface of the DLC film to etching plasma in an atmosphere containing fluorine gas to make said DLC film containing hydrogen substantially and uniformly hydrogen free; andrepeating said growing and exposing in that order over the preformed said substantially and uniformly hydrogen free DLC film to obtain a predetermined thickness of the DLC films.

이 특허에 인용된 특허 (2)

Rzad Stefan J. (Rexford NY) DeVre Michael W. (Scotia NY), Method for adhering diamondlike carbon to a substrate.
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Meyerson Bernard S. (Yorktown Heights NY) Joshi Rajiv V. (Yorktown Heights NY) Rosenberg Robert (Peekskill NY) Patel Vishnubhai V. (Yorktown Heights NY), Silicon/carbon protection of metallic magnetic structures.
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이 특허를 인용한 특허 (19)

Veerasamy, Vijayen S., Coated article with DLC inclusive layer(s) having increased hydrogen content at surface area.
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Mallick, Abhijit Basu; Ingle, Nitin K., Flowable carbon for semiconductor processing.
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Okamoto, Yusuke; Yasuda, Yoshiteru; Yamaguchi, Takuro; Kano, Makoto, Gear.
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Veerasamy Vijayen S., Highly tetrahedral amorphous carbon coating on glass.
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Veerasamy Vijayen S., Highly tetrahedral amorphous carbon coating on glass.
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Veerasamy, Vijayen S., Highly tetrahedral amorphous carbon coating on glass.
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Vijayen S. Veerasamy, Hydrophobic coating including DLC on substrate.
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Vijayen S. Veerasamy, Hydrophobic coating including DLC on substrate.
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Kwok, Raymond W. M.; Lau, Woon Ming, Method for selectively removing hydrogen from molecules.
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Veerasamy, Vijayen S.; Petrmichl, Rudolph Hugo; Thomsen, Scott V., Method of making coated article including DLC inclusive layer over low-E coating.
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Veerasamy, Vijayen S., Method of making coated article including layer(s) of diamond-like carbon which may be hydrophobic.
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Veerasamy, Vijayen S., Method of making coating article including carbon coating on glass.
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Veerasamy,Vijayen S., Method of making heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) inclusive layer.
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Veerasamy, Vijayen S., Method of making heat treatable coated article with protective layer.
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Vijayen S. Veerasamy, Method of making hydrophobic coated article.
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Toshio Sakai JP; Chishio Hosokawa JP; Hisayuki Kawamura JP, Organic electroluminescence layer with oligomer hole injection layer.
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Sakai, Toshio; Hosokawa, Chishio; Kawamura, Hisayuki, Organic electroluminescent layer with oligomer hole injection layer.
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Fukiage, Noriaki, Plasma treatment method.
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Shoemaker, Erika Leigh; Wang, Maria; Roby, Mary; Jacobsen, Stuart, Process for reactive ion etching a layer of diamond like carbon.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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