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Surface particle sampling head having a rotatable probe 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-001/08
출원번호 US-0599424 (1996-01-16)
발명자 / 주소
  • Chinn Jeffrey D.
  • Lowe Justin
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Thomason and Moser
인용정보 피인용 횟수 : 29  인용 특허 : 6

초록 ▼

A surface particle sampling head having a rotatable probe The sampling head contains a handle, a probe and a joint connecting the handle to the probe such that the probe rotates relative tothe handle. Preferably, the rotatable joint is a universal joint that enables the probe to gimbal relative to t

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A surface particle sampling head comprising:a handle;a probe for collecting particles from a surface; androtatable joint, connected between said probe and said handle, for rotating said probe relative to said handle.

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Kiplinger Dale V. (Carrollton TX), Air sampler.
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  2. Zelazny Joseph S. (Webster NY), Coarse particle sniffer.
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  3. Hsu Jong-Ryng (San Antonio TX) Camann David E. (San Antonio TX) Villalobos Kevin (San Antonio TX), Dermal exposure testing method and apparatus therefor.
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  4. Thaung Kurt I. (VxjSEX) Carlsson Curt I. (VxjSEX), Flexible, force-transmitting element.
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  5. Swick Robert H. (New Castle DE) Sullivan Gene J. (LaFayette CA) Lutz Donald G. (San Ramon CA CA) Dryden Richard S. (San Jose CA), Method and device for quantifying particles on a surface.
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  6. Bucher George D. (McCandless Twp. ; Allegheny County PA) DiGrande John T. (Imperial PA) Frye Lester C. (Irmo SC) Stoutamire Mark S. (Bridgeville PA), Method for sampling nuclear fuel pellets with a robot gripper mechanism.
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이 특허를 인용한 특허 (29)

  1. Furman, Dov; Neumann, Gad; Wagner, Mark; Dotan, Noam; Segal, Ram; Silberstein, Shai, Apparatus for determining optimum position of focus of an imaging system.
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  2. Ikuhiro Fujita JP, Apparatus for measuring contamination of the surface of a machine surface.
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  3. Michael S. Gatov, Cleanliness verification system.
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  4. Ornath,Fredy; Roach,Robert, Contaminant scanning system.
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  5. Favre, Arnaud; Godot, Erwan; Bellet, Bertrand, Contamination measurement station and method for a semiconductor substrates transport pod.
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  6. Yamamoto, Hideyuki; Enami, Hiromichi; Furuse, Muneo, Device and method for detecting foreign material on the surface of plasma processing apparatus.
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  7. Lutz, Donald G.; Duggan, Daniel, Environmental monitoring system.
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  8. Fine, David H.; Konduri, Ravi K.; Fraim, Freeman W.; Jarvis, George, Explosive residue sampling.
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  9. Parmeter, John E.; Brusseau, Charles A.; Davis, Jerry D.; Linker, Kevin L.; Hannum, David W., Explosives screening on a vehicle surface.
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  10. Furman, Dov; Neumann, Gad; Dotan, Noam, Fiber optical illumination system.
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  11. Furman,Dov, Fiber optical illumination system.
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  12. Furman,Dov; Neumann,Gad; Dotan,Noam, Fiber optical illumination system.
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  13. Furman, Dov; Kaner, Roy; Gonen, Ori; Mandelik, Daniel; Tal, Eran; Silberstein, Shai, Image splitting in optical inspection systems.
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  14. Furman, Dov; Silberstein, Shai; Miklatzky, Effy; Mandelik, Daniel; Abraham, Martin, Image splitting in optical inspection systems.
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  15. Sali, Erez; Yanir, Tomer; Wagner, Mark; Dotan, Noam; Dorfan, Yuval; Zaslavsky, Ran, Method and apparatus for detecting defects in wafers.
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  16. Dorphan, Yuval; Zaslavsky, Ran; Wagner, Mark; Furman, Dov; Silberstein, Shai, Method and apparatus for detecting defects in wafers including alignment of the wafer images so as to induce the same smear in all images.
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  17. Arabian,Adam K.; Kerechanin, II,Charles K.; Harshbarger,Stuart D., Modular sampling device.
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  18. Furman,Dov; Dotan,Noam; Miklatzky,Efraim, Multi mode inspection method and apparatus.
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  19. Lee, Byungwoo; Wu, Yanyan; Kray, Nicholas Joseph, Non-destructive inspection system having self-aligning probe assembly.
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  20. Bradley, Bruce J.; Clarksen, Dirk V., Portable contaminant sampling system.
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  21. Bradley,Bruce J.; Clarksen,Dirk V., Portable contaminant sampling system.
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  22. Fuchs, Dan T.; Silberstein, Shai, Printed fourier filtering in optical inspection tools.
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  23. Riazanskaia, Svetlana; Thomas, Charles Laurence Paul, Sampler and method of sampling.
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  24. Montefusco, Vincent, Scent evidence collecting and transfer device.
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  25. Lutz,Donald G.; Duggan,Daniel, Surface particle detector.
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  26. Furman, Dov; Neumann, Gad; Wagner, Mark; Dotan, Noam; Segal, Ram; Silberstein, Shai, System for detection of wafer defects.
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  27. Furman,Dov; Neumann,Gad; Wagner,Mark; Dotan,Noam; Segal,Ram; Silberstein,Shai, System for detection of wafer defects.
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  28. Neumann,Gad; Dotan,Noam, System for detection of wafer defects.
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  29. Furman, Dov; Neumann, Gad; Wagner, Mark; Dotan, Noam; Segal, Ram; Silberstein, Shai, System for detection of water defects.
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