[특허]Infrared detector array with an elevated thin film

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01J-005/54
출원번호	US-0665135 (1996-06-14)
발명자 / 주소	Belcher James F. Owen Robert A.
출원인 / 주소	Texas Instruments Incorporated
대리인 / 주소	Carlson
인용정보	피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 9

초록 ▼

A novel reticulated array comprises islands of ceramic (e.g. BST 40) which are fabricated from novel materials using unique methods of patterning. A shallow etch stop trench (46) is first ion milled around each ceramic island on front side and then filled with an etch stop material (e.g. parylene 48). An optical coat (e.g transparent metal layer 54, transparent organic layer 56 and conductive metallic layer 58) is elevated above the etch stop material by an elevation layer (e.g. polyimide 49). For some applications, it has been experimentally verified that there is no loss, and sometimes a measured increase, in optical efficiency when the optical coating is not planar in topology. Novel fabrication methods also provide for the convenient electrical and mechanical bonding of each of the massive number of ceramic islands to a signal processor substrate (e.g. Si 86) containing a massive array of sensing circuits.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A microelectronic infrared detector array comprising:a reticulated array of ceramic islands;an optical coating layer disposed on said ceramic islands, wherein said optical coating layer comprises elevated portions between said ceramic islands, whereby said elevated portions of said optical coating layer provide improved thermal efficiency for sensing impinging infrared radiation; andelectrical contacts disposed on a surface of said ceramic islands opposite said optical coating layer.

이 특허에 인용된 특허 (9)

Hanson Charles M. (Richardson TX), Capacitive bolometer with improved responsivity.
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Hopper ; George S., Ferroelectric imaging system.
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Hanson Charles M. (Richardson TX), Infrared detector arrays.
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Ohtake Yasuhisa (Fukaya JPX) Kudou Makoto (Kumagaya JPX) Sengoku Yasushi (Fukaya JPX), Method of manufacturing shadow mask.
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Singer Barry M. (New York NY) Thefaine Yannick J. (Beacon NY), Method of reticulating a pyroelectric vidicon target.
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Ferrett Donald A. (Prince William Co. VA), Method of thermal isolation of detector elements in an uncooled staring focal plane array.
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Turnbull Andrew A. (Reigate GB2), Thermal-image sensing devices and their manufacture.
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Shaham Yifal J. (Los Angeles CA) Pines Michael Y. (Los Angeles CA) Koda N. John (Vista CA) Murphy Daniel F. (Carlsbad CA), Thermally insulative and electrically conductive interconnect and process for making same.
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Lee Yong H. (Middletown NJ) Tell Benjamin (Matawan NJ), Top-emitting surface emitting laser structures.
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이 특허를 인용한 특허 (10)

Bartonek, Mark, Apparatus and method for detection of railroad wheel and bearing temperature.
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Yew Tri-Rung,TWX ; Huang Yimin,TWX ; Lur Water,TWX ; Sun Shih-Wei,TWX, Dual damascene structure for the wiring-line structures of multi-level interconnects in integrated circuit.
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Tidrow, Steven C.; Crowne, Frank; Potrepka, Daniel; Rod, Bernard J., Ferroelectric radiation detector employing frequency modulated readout.
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Murata,Takahiko; Yamaguchi,Takumi; Kasuga,Shigetaka; Yamada,Takayoshi, Infrared sensor and method for driving the same.
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Hwang,Young Sun; Jung,Jae Chang, Methods for forming fine photoresist patterns.
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Kuimelis, Robert G.; McGall, Glenn H., Parallel preparation of high fidelity probes in an array format.
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McGall, Glenn H.; Kuimelis, Robert G., Parallel preparation of high fidelity probes in an array format.
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McGall, Glenn H.; Kuimelis, Robert G., Parallel preparation of high fidelity probes in an array format.
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Kuimelis, Robert G.; McGall, Glenn H., Primer array synthesis and validation.
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Kuimelis, Robert G.; McGall, Glenn H., Primer array synthesis and validation.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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