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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0945855 (1997-11-07) |
우선권정보 | SE-0002258 (1995-06-21) |
국제출원번호 | PCT/SE96/00789 (1996-06-17) |
§371/§102 date | 19971107 (19971107) |
국제공개번호 | WO-9701055 (1997-01-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 106 인용 특허 : 14 |
A method for the manufacture of a microstructure having a top face and a bottom face, at least one hole or cavity therein extending from the top face to the bottom face, and a polymer membrane which extends over a bottom opening of said hole or cavity, which method comprises the steps of: providing
[ I claim:] [1.] A method for the manufacture of a microstructure having a top face and a bottom face, at least one hole therein extending from the top face to the bottom face, and a polymer membrane which extends over a bottom opening of said hole, which method comprises the steps of:a) providing a
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